LiTaO3 литиумски танталатни инготи со Fe/Mg допинг прилагодени 4 инчи, 6 инчи, 8 инчи за индустриско мерење
Технички параметри
Спецификација | Конвенционален | Висока прецизност |
Материјали | LiTaO3(LT)/LiNbO3 плочки | LiTaO3(LT)/LiNbO3 плочки |
Ориентација | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° |
Паралелно | 30″ | 10'' |
Нормала | 10′ | 5' |
Квалитет на површината | 40/20 | 20/10 |
Дисторзија на брановиот фронт | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Рамност на површината | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Јасна бленда | >90% | >90% |
Закосување | <0,2×45° | <0,2×45° |
Толеранција на дебелина/дијаметар | ±0,1 мм | ±0,1 мм |
Максимални димензии | дијаметар 150×50мм | дијаметар 150×50мм |
XKH услуги
1. Изработка на инготи во големи размери
Големина и сечење: инготи од 3–8 инчи со рез X/Y/Z, рез под агол од 42°Y и прилагодени аголни сечења (толеранција ±0,01°).
Контрола на допинг: Ко-допинг со Fe/Mg преку методот на Чохралски (опсег на концентрација 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) за оптимизирање на фоторефракцискиот отпор и термичката стабилност.
2. Напредни процесни технологии
Хетерогена интеграција: Композитни плочки (POI) од LiTaO3 на база на силициум со контрола на дебелината (300–600 nm) и топлинска спроводливост до 8,78 W/m·K за високофреквентни SAW филтри.
Изработка на брановоди: Техники на протонска размена (PE) и обратна протонска размена (RPE), со кои се постигнуваат субмикронски брановоди (Δn >0,7) за високобрзински електрооптички модулатори (пропусен опсег >40 GHz).
3. Системи за управување со квалитет
Тестирање од крај до крај: Раманова спектроскопија (верификација на политип), XRD (кристалинитет), AFM (морфологија на површината) и тестирање на оптичка униформност (Δn <5×10⁻⁵).
4. Глобална поддршка на синџирот на снабдување
Производствен капацитет: Месечно производство >5.000 инготи (8 инчи: 70%), поддржувајќи итна испорака во рок од 48 часа.
Логистичка мрежа: Покриеност во Европа, Северна Америка и Азиско-пацифичкиот регион преку воздушен/морски превоз со пакување со контролирана температура.
5. Технички ко-развој
Заеднички лаборатории за истражување и развој: Соработка на платформи за фотонска интеграција (на пр., поврзување на слоеви со ниски загуби од SiO2).
Резиме
Инготите LiTaO3 служат како стратешки материјали што ја преобликуваат оптоелектрониката и квантните технологии. Преку иновации во растот на кристали (на пр., PVT), ублажување на дефекти и хетерогена интеграција (на пр., POI), ние испорачуваме високо-сигурни, економични решенија за 5G/6G комуникации, квантно пресметување и индустриски IoT. Посветеноста на XKH за унапредување на намалувањето на дефектите на инготите и скалирањето на производството од 8 инчи им обезбедува на клиентите водечка улога во глобалните синџири на снабдување, движејќи ја следната ера на полупроводнички екосистеми со широк појас.

