6-инчна силиконска плочка од тип N или P од CZ Si
Воведување на кутија за вафли
Спецификации на силиконска плочка:
Растење на силиконска плочка од 6 инчи: CZ, MCZ, FZ.
6 Силиконска плочка Степен: Prime, Test, Dummy, итн
Дијаметар на силиконска плочка од 6 инчи: 6 инчи/150 мм.
Дебелина на силиконска плочка од 6 инчи: 200~3000 μm.
6-инчен силиконски плофлен завршен слој: Како сечена, ламинирана, гравирана, SSP, DSP, итн.
Ориентација на силиконска плочка од 6 инчи: (100) (111) (110) (531) (553) итн.
Силиконска плочка од 6 инчи, исечена: до 4 степени.
6-инчна силиконска плочка Тип/Допант: P/B, N/Фосфат, N/As, N/Sb, Интринзичен.
Отпорност на силиконска плочка од 6 инчи: CZ/MCZ: од 0,001 до 1000 ohm-cm. FZ: до 20k ohm-cm.
6-инчни силиконски плочки Тенки филмови: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. итн., Дебелина на премазот до 20.000A/5%.
(б) LPCVD/PECVD: Оксид, нитрид, siC, итн., Дебелина на облогата до 200.000A/3%.
(в) Силиконски епитаксијални плочки и епитаксијални услуги (SOS, GaN, GOI итн.).
6-инчни силиконски плочки Процеси: a.DSP, ултра тенки, ултра рамни, итн.
б. Намалување на големината, брусење со грозје, сечење итн. в. MEMS.
Од 2010 година, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd е посветена на обезбедување на клиентите со сеопфатни 4-инчни решенија за силиконски плочки, од плочки за ниво на дебагирање со лажна плочка, плочки за ниво на тестирање и тест плочка, до плочки на ниво на производ Prime плочка, како и специјални плочки, оксидни плочки, нитридни плочки Si3N4, алуминиумски облоги, силиконски плочки обложени со бакар, SOI плочка, MEMS стакло, ултра-дебели и ултра-рамни плочки по нарачка итн., со големини од 50mm до 300mm, а можеме да обезбедиме и полупроводнички плочки со еднострано/двострано полирање, истенчување, сечење, MEMS и други услуги за обработка и прилагодување.
Детален дијаграм


