6-инчна силиконска плочка од тип N или P од CZ Si
Воведување на кутија за вафли
Спецификации на силиконска плочка:
Растење на силиконска плочка од 6 инчи: CZ, MCZ, FZ.
6 Силиконска плочка Степен: Prime, Test, Dummy, итн
Дијаметар на силиконска плочка од 6 инчи: 6 инчи/150 мм.
Дебелина на силиконска плочка од 6 инчи: 200~3000 μm.
6-инчен силиконски плофлен завршен слој: Како сечена, ламинирана, гравирана, SSP, DSP, итн.
Ориентација на силиконска плочка од 6 инчи: (100) (111) (110) (531) (553) итн.
Силиконска плочка од 6 инчи, исечена: до 4 степени.
6-инчна силиконска плочка Тип/Допант: P/B, N/Фосфат, N/As, N/Sb, Интринзичен.
Отпорност на силиконска плочка од 6 инчи: CZ/MCZ: од 0,001 до 1000 ohm-cm. FZ: до 20k ohm-cm.
6-инчни силиконски плочки Тенки филмови: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. итн., Дебелина на премазот до 20.000A/5%.
(б) LPCVD/PECVD: Оксид, нитрид, siC, итн., Дебелина на облогата до 200.000A/3%.
(в) Силиконски епитаксијални плочки и епитаксијални услуги (SOS, GaN, GOI итн.).
6-инчни силиконски плочки Процеси: a.DSP, ултра тенки, ултра рамни, итн.
б. Намалување на големината, брусење со грозје, сечење итн. в. MEMS.
Од 2010 година, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd е посветена на обезбедување на клиентите со сеопфатни 4-инчни решенија за силиконски плочки, од плочки за ниво на дебагирање со лажна плочка, плочки за ниво на тестирање со тест плочка, до плочки на ниво на производ Prime плочка, како и специјални плочки, оксидни плочки, нитридни плочки Si3N4, алуминиумски облоги, бакарни силиконски плочки, SOI плочка, MEMS стакло, ултра-дебели и ултра-рамни плочки по нарачка итн., со големини од 50mm до 300mm, а можеме да обезбедиме и полупроводнички плочки со еднострано/двострано полирање, истенчување, сечење, MEMS и други услуги за обработка и прилагодување.
Детален дијаграм


