4H-N/6H-N SiC плочка за истражување производство Фиктивна класа Dia150mm Силициум карбидна подлога
Спецификација на подлога од силициум карбид (SiC) со дијаметар од 6 инчи
| Одделение | Нула MPD | Продукција | Истражувачка оценка | Лажна оценка |
| Дијаметар | 150,0 мм ± 0,25 мм | |||
| Дебелина | 4H-N | 350 μm ± 25 μm | ||
| 4H-SI | 500 μm ± 25 μm | |||
| Ориентација на вафли | На оската:<0001>±0,5°за 4H-SI | |||
| Примарен стан | {10-10}±5,0° | |||
| Примарна рамна должина | 47,5 мм ± 2,5 мм | |||
| Исклучување на рабовите | 3мм | |||
| TTV/Ласт/Искривување | ≤15 μm/≤40 μm/≤60 μm | |||
| Густина на микроцевки | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
| Отпорност 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Грубост | Полски Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
| #Пукнатини од светлина со висок интензитет | Ништо | 1 дозволено, ≤2mm | Кумулативна должина ≤10mm, единечна должина ≤2mm | |
| *Шестандардни плочи со светлина со висок интензитет | Кумулативна површина ≤1% | Кумулативна површина ≤ 2% | Кумулативна површина ≤ 5% | |
| *Политипски области со светлина со висок интензитет | Ништо | Кумулативна површина ≤ 2% | Кумулативна површина ≤ 5% | |
| *&Гребења од светлина со висок интензитет | 3 гребнатини до 1 x кумулативна должина со дијаметар на плочката | 5 гребнатини до 1 x кумулативна должина со дијаметар на плочката | 5 гребнатини до 1 x кумулативна должина на дијаметарот на плочката | |
| Чип на работ | Ништо | Дозволени се 3, ≤0,5 mm секое | 5 дозволени, ≤1mm секое | |
| Контаминација со светлина со висок интензитет | Ништо
| |||
Продажба и корисничка поддршка
Набавка на материјали
Одделот за набавка на материјали е одговорен за собирање на сите суровини потребни за производство на вашиот производ. Целосна следливост на сите производи и материјали, вклучувајќи хемиска и физичка анализа, е секогаш достапна.
Квалитет
За време и по производството или машинската обработка на вашите производи, одделот за контрола на квалитет е вклучен во обезбедувањето дека сите материјали и толеранции ги исполнуваат или ги надминуваат вашите спецификации.
Услуга
Се гордееме што имаме персонал за продажно инженерство со над 5 години искуство во полупроводничката индустрија. Тие се обучени да одговараат на технички прашања, како и да даваат навремени понуди за вашите потреби.
Ние сме на ваша страна во секое време кога имате проблем и го решаваме за 10 часа.



