4H-N/6H-N SiC плочка за истражување производство Фиктивна класа Dia150mm Силициум карбидна подлога
Спецификација на подлога од силициум карбид (SiC) со дијаметар од 6 инчи
Одделение | Нула MPD | Продукција | Истражувачка оценка | Лажна оценка |
Дијаметар | 150,0 мм ± 0,25 мм | |||
Дебелина | 4H-N | 350 μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 500 μm ± 25 μm | |||
Ориентација на вафли | На оската:<0001>±0,5°за 4H-SI | |||
Примарен стан | {10-10}±5,0° | |||
Примарна рамна должина | 47,5 мм ± 2,5 мм | |||
Исклучување на рабовите | 3мм | |||
TTV/Ласт/Искривување | ≤15 μm/≤40 μm/≤60 μm | |||
Густина на микроцевки | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
Отпорност 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Грубост | Полски Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Пукнатини од светлина со висок интензитет | Ништо | 1 дозволено, ≤2mm | Кумулативна должина ≤10mm, единечна должина ≤2mm | |
*Шестандардни плочи со светлина со висок интензитет | Кумулативна површина ≤1% | Кумулативна површина ≤ 2% | Кумулативна површина ≤ 5% | |
*Политипски области со светлина со висок интензитет | Ништо | Кумулативна површина ≤ 2% | Кумулативна површина ≤ 5% | |
*&Гребења од светлина со висок интензитет | 3 гребнатини до 1 x кумулативна должина со дијаметар на плочката | 5 гребнатини до 1 x кумулативна должина со дијаметар на плочката | 5 гребнатини до 1 x кумулативна должина на дијаметарот на плочката | |
Чип на работ | Ништо | Дозволени се 3, ≤0,5 mm секое | 5 дозволени, ≤1mm секое | |
Контаминација со светлина со висок интензитет | Ништо
|
Продажба и корисничка поддршка
Набавка на материјали
Одделот за набавка на материјали е одговорен за собирање на сите суровини потребни за производство на вашиот производ. Целосна следливост на сите производи и материјали, вклучувајќи хемиска и физичка анализа, е секогаш достапна.
Квалитет
За време и по производството или машинската обработка на вашите производи, одделот за контрола на квалитет е вклучен во обезбедувањето дека сите материјали и толеранции ги исполнуваат или ги надминуваат вашите спецификации.
Услуга
Се гордееме што имаме персонал за продажно инженерство со над 5 години искуство во полупроводничката индустрија. Тие се обучени да одговараат на технички прашања, како и да даваат навремени понуди за вашите потреби.
Ние сме на ваша страна во секое време кога имате проблем и го решаваме за 10 часа.
Детален дијаграм

