Содржина
1.Преглед и основни функции на FOUP
2.Структура и дизајнерски карактеристики на FOUP
3. Класификација и упатства за примена на FOUP
4. Работа и важност на FOUP во производството на полупроводници
5.Технички предизвици и идни трендови во развојот
6. Прилагодени решенија и сервисна поддршка на XKH
Во процесот на производство на полупроводници, унифицираниот капсула со предно отворање (FOUP) е критичен контејнер што се користи за заштита, транспорт и складирање на плочки. Неговата внатрешност може да собере 25 парчиња плочки од 300 мм, а неговите главни компоненти вклучуваат контејнер со предно отворање и наменска рамка на вратата за отворање и затворање. FOUP е основен носач во автоматизираниот систем за транспорт во рамките на фабриките за плочки од 12 инчи. Обично се транспортира во затворена состојба и се отвора само кога ќе се турне до отворот за товарење на опремата, овозможувајќи плочките да се префрлат во отворот за товарење/истоварување на опремата.
Дизајнот на FOUP е прилагоден на барањата на микро-средината. Има слотови на задната страна за вметнување на плочки, а капакот е специјално дизајниран да одговара на стегата на отворачот. Роботите за ракување со плочки работат во средина со чист воздух од Класа 1, осигурувајќи дека плочките не се контаминирани за време на преносот. Понатаму, FOUP се движи помеѓу процесните алатки преку автоматизиран систем за ракување со материјали (AMHS). Современите фабрики за плочки најчесто користат системи за надземна шина за транспорт, додека неколку постари фабрики може да користат копнени автоматски водени возила (AGV).
FOUP не само што овозможува автоматизиран трансфер на плочки, туку служи и за складирање. Поради бројните чекори на производство, на плочките може да им требаат месеци за да го завршат целиот процес. Во комбинација со високите месечни количини на производство, ова значи дека десетици илјади плочки во фабриката се постојано во транзит или привремено складирани во кое било време. За време на складирањето, FOUP плочките периодично се прочистуваат со азот за да се спречи контакт на загадувачите со плочките, со што се обезбедува чист и сигурен процес на производство.
1. Функции и важност на FOUP
Основната функција на FOUP е да ги заштити плочките од надворешен шок и контаминација, особено избегнувајќи влијанија врз приносот за време на преносот. Тој ефикасно ја спречува влагата преку методи како што се прочистување на гас и контрола на локалната атмосфера (LAC), осигурувајќи дека плочките остануваат во безбедна состојба додека чекаат на следниот чекор на производство. Неговиот запечатен и контролиран систем дозволува влез само на потребните соединенија и елементи, значително намалувајќи ги негативните ефекти на VOC, кислородот и влагата врз плочките.
Бидејќи FOUP целосно натоварен со 25 плочки може да тежи до 9 килограми, неговиот транспорт мора да се потпира на Автоматизиран систем за ракување со материјали (AMHS). За да се олесни ова, FOUP е дизајниран со различни комбинации на спојни плочи, иглички и дупки, и е опремен со RFID електронски ознаки за лесна идентификација и класификација. Ова автоматизирано ракување речиси и да не бара рачно работење, значително намалувајќи ги стапките на грешки и зголемувајќи ја безбедноста и точноста на процесот на производство.
2. Структура и класификација на FOUP
Типичните димензии на FOUP се приближно 420 mm во ширина, 335 mm во длабочина и 335 mm во висина. Неговите главни структурни компоненти вклучуваат: горен OHT (глава на печурки) за транспорт со надземна дигалка; предна врата за пристап до опремата со плочки; странични рачки, често кодирани во боја за да се разликуваат областите на процесот со различни нивоа на контаминација; област со картички за поставување картички со пораки; и долна RFID ознака што служи како единствен идентификатор за FOUP, овозможувајќи им на алатките и надземните дигалки да го препознаат. Основата е опремена и со четири отвори за идентификација и позиционирање за спојување со алатките и разликување на областите на процесот.
Врз основа на употребата, FOUP-ите се класифицираат во три типа: PRD (за производство), ENG (за инженерски плочки) и MON (за мониторинг плочки). PRD FOUP-ите може да се користат за производство на производи, ENG типовите се погодни за истражување и развој или експерименти, а MON типовите се наменети за следење на процесите за чекори како CMP и DIFF. Важно е да се напомене дека PRD FOUP-ите може да се користат и за ENG и за MON цели, а ENG типовите може да се користат за MON, но обратната операција претставува ризик за квалитетот.
Класифицирани според нивото на контаминација, FOUP-ите може да се поделат на FE FOUP (преден процес, без метал), BE FOUP (заден процес, содржи метал) и оние специјализирани за специфични метални процеси како NI FOUP, CU FOUP и CO FOUP. FOUP-ите за различни процеси обично се разликуваат по бојата на страничните рачки или панелите на вратите. FOUP-ите од предните процеси може да се користат во задните процеси, но задните FOUP-и никогаш не смеат да се користат во предните процеси, бидејќи тоа би предизвикало ризик од контаминација.
Како клучен носител во производството на полупроводници, FOUP, преку висока автоматизација и строга контрола на контаминацијата, ја обезбедува безбедноста и чистотата на плочките за време на производствениот процес, што го прави неопходна инфраструктура во модерните фабрики за плочки.
Заклучок
XKH е посветена на обезбедување на клиентите високо прилагодени решенија за унифицирани капсули со предно отворање (FOUP), строго почитувајќи ги вашите специфични барања за процесот и спецификациите на интерфејсот на опремата. Користејќи напредна технологија на материјали и прецизни процеси на производство, ние гарантираме дека секој производ на FOUP ќе обезбеди исклучителна херметичка непропустливост, чистота и механичка стабилност. Нашиот технички тим поседува длабока индустриска експертиза, нудејќи сеопфатна поддршка за животниот циклус - од консултации за избор и структурна оптимизација до чистење и одржување - обезбедувајќи беспрекорна интеграција и ефикасна соработка помеѓу FOUP и вашиот Автоматизиран систем за ракување со материјали (AMHS), како и опремата за обработка. Ние постојано ја даваме приоритет на безбедноста на плочките и зголемувањето на приносот на производството како наши основни цели. Преку иновативни производи и сеопфатни технички услуги, ние обезбедуваме робусна гаранција за вашите процеси на производство на полупроводници, што во крајна линија ја зголемува ефикасноста на производството и приносот на производот.
Време на објавување: 08.09.2025