12-инчен сафирен плочен материјал за производство на полупроводници со голем обем

12-инчен сафирен плочка за производство на полупроводници со голем обем - претставена слика

Краток опис:

Сафирната плочка од 12 инчи е дизајнирана да ја задоволи растечката побарувачка за производство на полупроводници и оптоелектроника со голема површина и висок проток. Како што архитектурите на уредите продолжуваат да се зголемуваат, а производствените линии се движат кон поголеми формати на плочки, сафирните подлоги со ултра големи дијаметри нудат јасни предности во продуктивноста, оптимизацијата на приносот и контролата на трошоците.

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

Детален дијаграм

Воведување на сафирна плочка од 12 инчи

Произведени од високочистотен монокристален Al₂O₃, нашите сафирни плочки од 12 инчи комбинираат одлична механичка цврстина, термичка стабилност и квалитет на површината. Преку оптимизиран раст на кристалите и прецизна обработка на плочките, овие подлоги обезбедуваат сигурни перформанси за напредни LED диоди, GaN и специјални полупроводнички апликации.

Карактеристики на материјалот

Сафирот (еднокристален алуминиум оксид, Al₂O₃) е добро познат по своите извонредни физички и хемиски својства. Сафирните плочки од 12 инчи ги наследуваат сите предности на сафирниот материјал, а воедно обезбедуваат многу поголема употреблива површина.

Клучните карактеристики на материјалот вклучуваат:

Исклучително висока цврстина и отпорност на абење
Одлична термичка стабилност и висока точка на топење
Супериорна хемиска отпорност на киселини и алкалии
Висока оптичка транспарентност од UV до IR бранови должини
Одлични електрични изолациски својства

Овие карактеристики ги прават 12-инчните сафирни плочки погодни за сурови процесни средини и процеси на производство на полупроводници на висока температура.

Процес на производство

Производството на сафирни плочки од 12 инчи бара напредни технологии за раст на кристали и ултрапрецизна обработка. Типичниот процес на производство вклучува:

Раст на еден кристал
Кристалите од сафир со висока чистота се одгледуваат со користење на напредни методи како што се KY или други технологии за раст на кристали со голем дијаметар, обезбедувајќи униформна ориентација на кристалите и низок внатрешен стрес.
Обликување и сечење на кристали
Сафирната ингота е прецизно обликувана и исечена на плочки од 12 инчи со употреба на опрема за сечење со висока прецизност за да се минимизира оштетувањето на подповршината.
Лакирање и полирање
Се применуваат повеќестепени процеси на ламинирање и хемиско механичко полирање (CMP) за да се постигне одлична површинска грубост, рамност и униформност на дебелината.
Чистење и инспекција
Секоја сафирна плочка од 12 инчи се подложува на темелно чистење и строга проверка, вклучувајќи анализа на квалитетот на површината, TTV, лакот, основата и дефектите.

Апликации

Сафирните плочки од 12 инчи се широко користени во напредни и нови технологии, вклучувајќи:

LED подлоги со висока моќност и висока осветленост
Уреди за напојување базирани на GaN и RF уреди
Носач на полупроводничка опрема и изолациски подлоги
Оптички прозорци и оптички компоненти со голема површина
Напредно полупроводничко пакување и специјални процесни носители

Големиот дијаметар овозможува поголем проток и подобрена ефикасност на трошоците во масовното производство.

Предности на сафирни плочки од 12 инчи

Поголема употреблива површина за поголема излезна моќност на уредот по плочка
Подобрена конзистентност и униформност на процесот
Намалена цена по уред при производство во голем обем
Одлична механичка цврстина за ракување со големи димензии
Прилагодливи спецификации за различни апликации

Опции за прилагодување

Нудиме флексибилно прилагодување за сафирни плочки од 12 инчи, вклучувајќи:

Ориентација на кристалот (C-рамнина, A-рамнина, R-рамнина, итн.)
Толеранција на дебелина и дијаметар
Еднострано или двострано полирање
Профил на раб и дизајн на закосување
Барања за грубост и рамност на површината

Параметар	Спецификација	Белешки
Дијаметар на плочката	12 инчи (300 мм)	Стандардна плочка со голем дијаметар
Материјал	Монокристален сафир (Al₂O₃)	Високочисто, електронски/оптички квалитет
Кристална ориентација	C-рамнина (0001), A-рамнина (11-20), R-рамнина (1-102)	Достапни се опционални ориентации
Дебелина	430–500 μm	Прилагодена дебелина достапна по барање
Толеранција на дебелина	±10 μm	Тесна толеранција за напредни уреди
Варијација на вкупната дебелина (TTV)	≤10 μm	Обезбедува униформна обработка низ целата плочка
Лак	≤50 μm	Измерено на целата плоча
Искривување	≤50 μm	Измерено на целата плоча
Завршна обработка на површината	Еднострано полирано (SSP) / Двострано полирано (DSP)	Високо оптички квалитет на површината
Рапавост на површината (Ra)	≤0,5 nm (полирано)	Мазност на атомско ниво за епитаксијален раст
Профил на раб	Заоблен раб / Заоблен раб	За да се спречи кршење за време на ракувањето
Точност на ориентацијата	±0,5°	Обезбедува правилен раст на епитаксијалниот слој
Густина на дефекти	<10 см⁻²	Измерено со оптичка инспекција
Рамност	≤2 μm / 100 mm	Обезбедува униформна литографија и епитаксијален раст
Чистота	Класа 100 – Класа 1000	Компатибилен со чисти простории
Оптички пренос	>85% (УВ-ИР)	Зависи од брановата должина и дебелината

Најчесто поставувани прашања за сафирната плочка од 12 инчи

П1: Која е стандардната дебелина на сафирна плочка од 12 инчи?
A: Стандардната дебелина се движи од 430 μm до 500 μm. Може да се произведуваат и дебелини по нарачка според барањата на клиентот.

П2: Кои кристални ориентации се достапни за сафирни плочки од 12 инчи?
A: Нудиме ориентации во C-рамнина (0001), A-рамнина (11-20) и R-рамнина (1-102). Другите ориентации може да се прилагодат врз основа на специфичните барања на уредот.

П3: Колкава е вкупната варијација на дебелината (TTV) на плочката?
A: Нашите 12-инчни сафирни плочки обично имаат TTV ≤10 μm, што обезбедува униформност низ целата површина на плочката за висококвалитетна изработка на уредот.

За нас

XKH е специјализирана за високотехнолошки развој, производство и продажба на специјално оптичко стакло и нови кристални материјали. Нашите производи се наменети за оптичка електроника, потрошувачка електроника и војска. Нудиме сафирни оптички компоненти, капаци за леќи за мобилни телефони, керамика, LT, силициум карбиден SIC, кварц и полупроводнички кристални плочки. Со стручна експертиза и најсовремена опрема, ние се истакнуваме во преработката на нестандардни производи, со цел да бидеме водечка високотехнолошка компанија за оптоелектронски материјали.