Ултра-прецизна SiC воздушна фаза со лежиште

Ултра-прецизна SiC воздушна сцена со лежиште - претставена слика

Краток опис:

Со континуираната еволуција на полупроводничката индустрија, опремата за обработка и инспекција бара сè повисоки перформанси. Надоградувајќи се на обемното искуство во контролата на движењето и позиционирањето на нанометриско ниво, развивме рамна H-тип двоосна ултрапрецизна воздушна платформа.

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

Детален дијаграм

Преглед

Изработена со керамичка структура од силициум карбид (SiC) оптимизирана за конечни елементи и технологија на компензирани воздушни лежишта, сцената обезбедува извонредна точност, цврстина и динамичен одговор. Идеално е погодна за:

Полупроводничка обработка и инспекција
Микро/нано изработка и метрологија
Мушичко сечење и полирање во нанометарска скала
Скенирање со голема брзина и прецизност

Клучни карактеристики

Водилка со SiC воздушни лежиштаза ултра висока цврстина и прецизност
Висока динамика: брзина до 1 m/s, забрзување до 4 g, брзо таложење
Y-оска на портал со двоен погонобезбедува висок капацитет на оптоварување и стабилност
Опции за енкодероптичка решетка или ласерски интерферометар
Точност на позиционирање: ±0,15 μm;повторување: ±75 nm
Оптимизирано насочување на каблиза чист дизајн и долгорочна сигурност
Прилагодливи конфигурацииза специфични потреби на апликацијата

Ултра-прецизен дизајн и архитектура со директен погон, безконтактна архитектура

SiC керамичка рамка: ~5× цврстината на алуминиумската легура и ~5× помала термичка експанзија, што обезбедува стабилност при голема брзина и термичка робусност.
Компензирано воздушно лежиштеПатентираниот дизајн ја подобрува цврстината, капацитетот на оптоварување и стабилноста на движењето.
Динамички перформансиПоддржува брзина од 1 m/s и забрзување од 4 g, идеално за процеси со висок проток.
Беспрекорна интеграцијаКомпатибилен со системи за изолација на вибрации, ротирачки фази, модули за навалување и платформи за ракување со плочки.
Управување со каблиКонтролираниот радиус на свиткување го минимизира стресот за продолжен век на траење.

Безјадрени линеарни мотори: Мазно движење со нулта сила на запчување.
Погон со повеќе моториПоставувањето на моторот во рамнината на оптоварувањето ја подобрува праволиниската положба, рамноста и аголната прецизност.
Термичка изолацијаМоторите се изолирани од структурата на сцената; опционално ладење со воздух или вода за циклуси со висока работна сила.

Спецификации

Модел	400-400	500-500	600-600
Оски	X (скенирање) / Y (чекор)	X (скенирање) / Y (чекор)	X (скенирање) / Y (чекор)
Пат (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Точност (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Повторливост (nm)	±75	±100	±100
Резолуција (nm)	0,3	0,3	0,3
Максимална брзина (м/с)	1	1	1
Забрзување (g)	4	4	4
Правост (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабилност (nm)	±5	±5	±5
Максимално оптоварување (кг)	20	20	20
Наклон/Тркалање/Скршнување (лак-сек)	±1	±1	±1

Услови за тестирање:

Довод на воздух: чист, сув; точка на росење ≤ 0°F; филтрација на честички ≤ 0,25 μm; или 99,99% азот.
Точноста е измерена 25 mm над центарот на сцената при 20±1 °C, 40–60% RH.

Апликации

Полупроводничка литографија, инспекција и ракување со плочки
Микро/нано изработка и прецизна метрологија
Производство на врвна оптика и интерферометрија
Аерокосмичко и напредно научно истражување

Најчесто поставувани прашања – Степен со воздушно лежиште од силициум карбид

1. Што е фаза со воздушно лежиште?

Сцената со воздух користи тенок филм од воздух под притисок помеѓу сцената и водилката за да обезбедидвижење без триење, без абење и ултра мазноЗа разлика од конвенционалните механички лежишта, го елиминира лизгањето, обезбедува точност на нанометриско ниво и поддржува долгорочна сигурност.

2. Зошто да се користи силициум карбид (SiC) за сценската структура?

Висока цврстина: ~5× од онаа на алуминиумската легура, со што се минимизира деформацијата за време на динамичко движење.
Ниска термичка експанзија: ~5× пониска од алуминиумската, одржувајќи ја точноста при варијации на температурата.
ЛесенПомала густина во споредба со челикот, што овозможува работа со голема брзина и големо забрзување.
Одлична стабилностСупериорна амортизација и цврстина за ултрапрецизно позиционирање.

3. Дали на сцената ѝ е потребно подмачкување или одржување?

Не е потребно традиционално подмачкување бидејќи постоибез механички контактПрепорачаното одржување вклучува:

Снабдувањечист, сув компримиран воздух или азот
Периодична инспекција на филтри и сушари
Мониторинг на кабли и системи за ладење

4. Кои се барањата за снабдување со воздух?

Точка на роса: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Филтрација на честички: ≤ 0,25 μm
Чист, сув воздух или 99,99% чист азот
Стабилен притисок со минимални флуктуации

За нас

XKH е специјализирана за високотехнолошки развој, производство и продажба на специјално оптичко стакло и нови кристални материјали. Нашите производи се наменети за оптичка електроника, потрошувачка електроника и војска. Нудиме сафирни оптички компоненти, капаци за леќи за мобилни телефони, керамика, LT, силициум карбиден SIC, кварц и полупроводнички кристални плочки. Со стручна експертиза и најсовремена опрема, ние се истакнуваме во преработката на нестандардни производи, со цел да бидеме водечка високотехнолошка компанија за оптоелектронски материјали.