TGV Стаклени подлоги 12 инчи нафора Пробивање на стакло
Стаклените подлоги имаат подобри перформанси во однос на топлинските својства, физичката стабилност и се поотпорни на топлина и помалку склони кон проблеми со искривување или деформација поради високите температури;
Покрај тоа, уникатните електрични својства на стакленото јадро овозможуваат помали диелектрични загуби, овозможувајќи појасен сигнал и пренос на енергија. Како резултат на тоа, загубата на енергија за време на преносот на сигналот се намалува и севкупната ефикасност на чипот природно се зголемува. Дебелината на подлогата од стаклено јадро може да се намали за околу половина во споредба со ABF пластиката, а разредувањето ја подобрува брзината на пренос на сигналот и ефикасноста на енергијата.
Технологија за формирање дупка на TGV:
Методот на ласерско индуцирано офорт се користи за индуцирање на континуирана зона на денатурација преку импулсен ласер, а потоа стаклото обработено со ласер се става во раствор на флуороводородна киселина за офорт. Стапката на офорт на стаклото од зоната на денатурација во флуороводородна киселина е побрза од онаа на неденатурираното стакло за да се формира низ дупките.
TGV пополнување:
Прво, се прават TGV слепите дупки. Второ, слојот од семето беше депониран во внатрешноста на слепата дупка TGV со физичко таложење на пареа (PVD). Трето, галванизацијата од дното нагоре постигнува беспрекорно полнење на TGV; Конечно, преку привремено лепење, задно брусење, хемиско механичко полирање (CMP) изложеност на бакар, отлепување, формирање на TGV метална префрлена плоча.