Силиконски карбид керамички послужавник со силициум Силиконски карбид керамички цевки снабдување со висока температурна обработка на обична температура

Силиконски карбид керамички послужавник пијачка силикон карбид керамичка цевка снабдување со висока температурна точка на сопствена обработка на прилагодена слика

Краток опис:

Керамички послужавник со силиконски карбид и керамички цевки од силикон карбид се неопходни материјали со високи перформанси во производството на полупроводници. Керамичката лента на силикон карбид главно се користи во фиксна и лежиште за обработка на нафта, за да се обезбеди стабилност на процесот на голема прецизност; Силиконските карбидни керамички цевки се користат во цевки со печка со висока температура, цевки за дифузна печка и други сценарија за да издржат екстремни околини и да одржуваат ефикасно термичко управување. И двајцата се засноваат на силиконски карбид како основен материјал, кој стана клучна компонента во индустријата за полупроводници заради неговите одлични физички и хемиски својства.

Испратете е -пошта до нас

Детали за производот

Ознаки за производи

Главни карактеристики:

1. Керамичка послужавник со силикон карбид
- Висока цврстина и отпорност на абење: Цврстината е близу до дијамантот и може да издржи механичко абење при обработка на нафта долго време.
- Висока термичка спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија: брза дисипација на топлина и димензионална стабилност, избегнувајќи деформација предизвикана од термички стрес.
- Висока рамност и завршување на површината: Површинската рамка е до ниво на микрон, обезбедувајќи целосен контакт помеѓу нафтата и дискот, намалувајќи ја загадувањето и оштетувањето.
Хемиска стабилност: Силна отпорност на корозија, погодна за процеси на влажно чистење и гравирање во производството на полупроводници.
2. Силиконска карбид керамичка цевка
- Отпорност на висока температура: Може да работи во висока температурна околина над 1600 ° C подолго време, погоден за полупроводнички процес на висока температура.
Одлична отпорност на корозија: Отпорен на киселини, алкалии и разновидни хемиски растворувачи, погодни за груби околини на процеси.
- Висока цврстина и отпорност на абење: Отпорни на ерозија на честички и механичко абење, продолжете го животот на услугата.
- Висока термичка спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија: брзо спроведување на топлина и димензионална стабилност, намалување на деформацијата или пукање предизвикана од термички стрес.

Параметар на производот

Параметар на керамички послужавник со силикон карбид:

(Материјална сопственост)		(Единица)	(SSIC)
(Содржина на sic)		(Wt)%	> 99
(Просечна големина на жито)		микрон	4-10
(Густина)		kg/dm3	> 3.14
(Очигледна порозност)		VO1%	<0,5
(Викерс цврстина)	HV 0,5	Успех	28
() Флексурална јачина (три точки)	20ºC	МПА	450
(Компресивна јачина)	20ºC	МПА	3900
(Еластичен модул)	20ºC	Успех	420
(Цврстина на фрактура)		MPa/m '%	3.5
(Термичка спроводливост)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Отпорност)	20 ° ºC	Ом.cm	106-108
(Коефициент на термичка експанзија)	А (РТ ** ... 80ºC)	К-1*10-6	4.3
(Максимална работна температура)		oºC	1700 година

Параметар на керамички цевки од силикон карбид:

Предмети	Индекс
α-Sic	99% мин
Очигледна порозност	16% макс
Густина на најголемиот дел	2,7g/cm3 мин
Јачина на свиткување на висока температура	100 MPa мин
Коефициент на термичка експанзија	K -1 4.7x10 -6
Коефициент на топлинска спроводливост (1400ºC)	24 w/mk
Макс. Работна температура	1650ºC

Главни апликации:

1. Керамичка плоча со силикон карбид
- Сечење на нафта и полирање: служи како платформа за лежишта за да се обезбеди голема прецизност и стабилност за време на сечење и полирање.
- Процес на литографија: Нафора е фиксиран во машината за литографија за да се обезбеди високо прецизно позиционирање за време на изложеноста.
- Хемиско механичко полирање (CMP): Делува како платформа за поддршка за полирање на влошки, обезбедувајќи униформа притисок и дистрибуција на топлина.
2. Силиконска карбид керамичка цевка
- Цевка за печка со висока температура: Се користи за опрема за висока температура, како што се печка за дифузија и печка за оксидација, за да се носат нафори за третман на висока температура.
- CVD/PVD процес: како лежиште во комората за реакција, отпорна на високи температури и корозивни гасови.
- Додатоци за опрема за полупроводници: За разменувачи на топлина, гасоводи, итн., За подобрување на ефикасноста на термичката управување со опремата.
XKH нуди целосен спектар на сопствени услуги за керамички ленти со силициум карбид, чаши за вшмукување и керамички цевки од силициум карбид. Силиконски карбид керамички ленти и чаши за вшмукување, XKH може да се прилагодат според барањата на клиентите со различни големини, форми и грубост на површината и поддршка на специјален третман на обложување, подобрување на отпорност на абење и отпорност на корозија; За силиконските карбидни керамички цевки, XKH може да прилагоди разновидност на внатрешен дијаметар, надворешен дијаметар, должина и сложена структура (како што е обликувана цевка или порозна цевка), и да обезбеди полирање, анти-оксидациска облога и други процеси на површински третман. XKH гарантира дека клиентите можат да ги искористат сите придобивки од перформансите на керамички производи од силициум карбид за да ги исполнат бараните барања на високо-производи за производство, како што се полупроводници, LED диоди и фотоволтаици.