Силициум карбиден керамички послужавник за цицање Силициум карбиден керамички цевки за снабдување со високотемпературно синтерување со прилагодена обработка

Силициум-карбиден керамички сад за цицање Силициум-карбиден керамички цевки за снабдување со високотемпературно синтерување, прилагодена обработка Препорачана слика

Краток опис:

Керамичката послужавник од силициум карбид и керамичките цевки од силициум карбид се неопходни високо-перформансни материјали во производството на полупроводници. Керамичката послужавник од силициум карбид главно се користи во обработка на плочки со фиксни и лежишта, за да се обезбеди стабилност на високо-прецизниот процес; Керамичките цевки од силициум карбид се широко користени во цевки за печки со висока температура, цевки за дифузни печки и други сценарија за да издржат екстремни средини и да одржуваат ефикасно термичко управување. И двете се базираат на силициум карбид како основен материјал, кој стана клучна компонента во полупроводничката индустрија поради неговите одлични физички и хемиски својства.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Главни карактеристики:

1. Керамички послужавник од силициум карбид
- Висока цврстина и отпорност на абење: тврдоста е блиску до дијамант и може да издржи механичко абење при обработка на плочка долго време.
- Висока топлинска спроводливост и низок коефициент на топлинска експанзија: брза дисипација на топлина и димензионална стабилност, избегнувајќи деформација предизвикана од термички стрес.
- Висока рамномерност и завршна обработка на површината: Рамномерноста на површината е до микронско ниво, обезбедувајќи целосен контакт помеѓу плочката и дискот, намалувајќи ја контаминацијата и оштетувањето.
Хемиска стабилност: Силна отпорност на корозија, погодна за процеси на влажно чистење и гравирање во производството на полупроводници.
2. Силициум карбидна керамичка цевка
- Отпорност на висока температура: Може да работи во средина со висока температура над 1600°C долго време, погодна за полупроводнички процес со висока температура.
Одлична отпорност на корозија: отпорна на киселини, алкалии и разни хемиски растворувачи, погодна за сурови процесни средини.
- Висока цврстина и отпорност на абење: отпорни на ерозија на честички и механичко абење, продолжување на работниот век.
- Висока топлинска спроводливост и низок коефициент на топлинска експанзија: брза спроводливост на топлина и димензионална стабилност, намалувајќи ја деформацијата или пукањето предизвикано од термички стрес.

Параметар на производот:

Параметар на послужавник од силициум карбидна керамичка подлога:

(Материјална сопственост)		(Единица)	(ssic)
(Содржина на SiC)		(Тежински)%	>99
(Просечна големина на зрно)		микрон	4-10
(Густина)		кг/дм3	>3,14
(Очигледна порозност)		Vo1%	<0,5
(Викерсова тврдост)	ВВ 0,5	Просечен просек	28
() Јачина на свиткување (три точки)	20ºC	МПа	450
(Компресивна јачина)	20ºC	МПа	3900
(Модул на еластичност)	20ºC	Просечен просек	420
(Издржливост на кршење)		MPa/m'%	3,5
(Топлинска спроводливост)	20°C	W/(m*K)	160
(Отпорност)	20°C	Ом.цм	106-108
(Коефициент на термичка експанзија)	a(RT**...80ºC)	К-1*10-6	4.3
(Максимална работна температура)		oºC	1700 година

Параметар на силициум-карбидна керамичка цевка:

Предмети	Индекс
α-SIC	99% мин.
Очигледна порозност	16% максимум
Густина на волуменот	2,7 g/cm3 мин
Јачина на свиткување на висока температура	100 Mpa мин.
Коефициент на топлинска експанзија	К-1 4.7x10 -6
Коефициент на топлинска спроводливост (1400ºC)	24 W/mk
Максимална работна температура	1650ºC

Главни апликации:

1. Керамичка плоча од силициум карбид
- Сечење и полирање на плочка: служи како платформа за лежишта за да се обезбеди висока прецизност и стабилност за време на сечењето и полирањето.
- Процес на литографија: Облогата е фиксирана во машината за литографија за да се обезбеди високо прецизно позиционирање за време на експозицијата.
- Хемиско механичко полирање (CMP): делува како потпорна платформа за полирирачките перничиња, обезбедувајќи рамномерен притисок и распределба на топлината.
2. Силициум карбидна керамичка цевка
- Цевка за печка со висока температура: се користи за опрема со висока температура, како што се дифузиона печка и оксидациска печка, за носење плочки за обработка на високи температури.
- CVD/PVD процес: Како лежиште во реакционата комора, отпорно на високи температури и корозивни гасови.
- Додатоци за полупроводничка опрема: за разменувачи на топлина, гасоводи итн., за подобрување на ефикасноста на термичкото управување на опремата.
XKH нуди широк спектар на услуги по нарачка за силициум-карбидни керамички послужавници, чаши за усисување и силициум-карбидни керамички цевки. Силициум-карбидните керамички послужавници и чаши за усисување, XKH може да се прилагодат според барањата на клиентите за различни големини, форми и грубост на површината, и поддржуваат специјален третман на премачкување, ја подобруваат отпорноста на абење и отпорноста на корозија; За силициум-карбидни керамички цевки, XKH може да прилагоди различни внатрешни дијаметри, надворешни дијаметри, должини и сложени структури (како што се обликувани цевки или порозни цевки), и да обезбеди полирање, антиоксидациско обложување и други процеси на површинска обработка. XKH гарантира дека клиентите можат целосно да ги искористат предностите на перформансите на силициум-карбидните керамички производи за да ги задоволат барањата на висококвалитетните производствени полиња како што се полупроводници, LED диоди и фотоволтаични панели.