Конзолно лопатче од силициум карбид (конзолно лопатче од SiC)

Краток опис:

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

Детален дијаграм

Преглед на производот

Конзолната лопатка од силициум карбид, произведена од високо-перформансен реакционо-врзан силициум карбид (RBSiC), е критична компонента што се користи во системите за полнење и ракување со плочки за полупроводнички и фотоволтаични апликации.
Во споредба со традиционалните кварцни или графитни лопатки, SiC конзолните лопатки нудат супериорна механичка цврстина, висока тврдост, ниска термичка експанзија и извонредна отпорност на корозија. Тие одржуваат одлична структурна стабилност при високи температури, исполнувајќи ги строгите барања за големи димензии на плочки, продолжен век на траење и ултра-ниска контаминација.

Со континуираниот развој на полупроводничките процеси кон поголеми дијаметри на плочките, поголем проток и почисти средини за обработка, SiC конзолните лопатки постепено ги заменија конвенционалните материјали, станувајќи претпочитан избор за дифузиони печки, LPCVD и сродна опрема за високи температури.

Карактеристики на производот

Одлична стабилност на висока температура
- Работи сигурно на 1000–1300℃ без деформација.
- Максимална работна температура до 1380℃.
Висок капацитет на носивост
- Јачина на свиткување до 250–280 MPa, многу поголема од кварцните лопатки.
- Способни за ракување со плочки со голем дијаметар (300 mm и повеќе).
Продолжен работен век и лесно одржување
- Низок коефициент на термичка експанзија (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), добро се комбинира со материјалите за обложување LPCVD.
- Ги намалува пукнатините и лупењето предизвикани од стрес, значително продолжувајќи ги циклусите на чистење и одржување.
Отпорност на корозија и чистота
- Одлична отпорност на киселини и алкалии.
- Густа микроструктура со отворена порозност <0,1%, што го минимизира создавањето на честички и ослободувањето на нечистотии.
Дизајн компатибилен со автоматизација
- Стабилна геометрија на пресек со висока димензионална точност.
- Беспрекорно се интегрира со роботизирани системи за полнење и растоварување на плочки, овозможувајќи целосно автоматизирано производство.

Физички и хемиски својства

Ставка	Единица	Податоци
Максимална работна температура	℃	1380 година
Густина	г/см³	3,04 – 3,08
Отворена порозност	%	< 0,1
Јачина на свиткување	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модул на еластичност	Просечен просек	330 (20℃), 300 (1200℃)
Топлинска спроводливост	W/m·K	45 (1200℃)
Коефициент на термичка експанзија	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Викерсова тврдост	HV2	≥ 2100
Отпорност на киселина/алкалија	-	Одлично

Стандардни должини:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Достапни се димензии по нарачка

Апликации

Полупроводничка индустрија
- LPCVD (Таложење на хемиска пареа со низок притисок)
- Процеси на дифузија (фосфор, бор, итн.)
- Термичка оксидација
Фотоволтаична индустрија
- Полисилициумска и монокристална дифузија и обложување на плочки
- Жарење и пасивација на висока температура
Други полиња
- Корозивни средини на висока температура
- Прецизни системи за ракување со плочки кои бараат долг работен век и ниска контаминација

Предности на клиентите

Намалени оперативни трошоци– Подолг век на траење во споредба со кварцните лопатки, со што се минимизира времето на застој и фреквенцијата на замена.
Повисок принос– Исклучително ниската контаминација обезбедува чистота на површината на плочката и ги намалува стапките на дефекти.
Отпорен на иднината– Компатибилен со големи димензии на плочки и полупроводнички процеси од следната генерација.
Подобрена продуктивност– Целосно компатибилен со роботизирани системи за автоматизација, поддржувајќи производство со голем обем.

Најчесто поставувани прашања – Конзолно лопатче од силициум карбид

П1: Што е конзолно лопатче од силициум карбид?
A: Тоа е компонента за потпора и ракување со плочка изработена од силициум карбид поврзан со реакција (RBSiC). Широко се користи во дифузиони печки, LPCVD и други високотемпературни полупроводнички и фотоволтаични процеси.

П2: Зошто да изберете SiC наместо кварцни лопатки?
A: Во споредба со кварцните лопатки, SiC лопатките нудат:

Поголема механичка цврстина и носивост
Подобра термичка стабилност на температури до 1380℃
Многу подолг работен век и намалени циклуси на одржување
Помалку генерирање на честички и ризик од контаминација
Компатибилност со поголеми димензии на плочки (300 mm и повеќе)

П3: Кои големини на плочки може да ги поддржи SiC конзолното лопатче?
A: Стандардни лопатки се достапни за системи со печки од 2378 mm, 2550 mm и 2660 mm. Достапни се прилагодени димензии за поддршка на плочки до 300 mm и поголеми.

За нас

XKH е специјализирана за високотехнолошки развој, производство и продажба на специјално оптичко стакло и нови кристални материјали. Нашите производи се наменети за оптичка електроника, потрошувачка електроника и војска. Нудиме сафирни оптички компоненти, футроли за леќи за мобилни телефони, керамика, LT, силициум карбиден SIC, кварц и полупроводнички кристални плочки. Со стручна експертиза и најсовремена опрема, ние се истакнуваме во преработката на нестандардни производи, со цел да бидеме водечка високотехнолошка компанија за оптоелектронски материјали.