SiC керамички вилушкаст крак / краен ефектор – напредно прецизно ракување за производство на полупроводници

Краток опис:

SiC керамичката вилушка, честопати нарекувана керамички краен ефектор, е високо-перформансна компонента за прецизно ракување, специјално развиена за транспорт, усогласување и позиционирање на плочки во високотехнолошките индустрии, особено во производството на полупроводници и фотоволтаични панели. Изработена со употреба на керамика од силициум карбид со висока чистота, оваа компонента комбинира исклучителна механичка цврстина, ултра ниска термичка експанзија и супериорна отпорност на термички шок и корозија.

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

Детален дијаграм

Преглед на производот

За разлика од традиционалните крајни ефектори направени од алуминиум, не'рѓосувачки челик, па дури и кварц, крајните ефектори од SiC керамика нудат неспоредливи перформанси во вакуумски комори, чисти простории и сурови средини за обработка, што ги прави клучен дел од роботите за ракување со плочки од следната генерација. Со зголемената побарувачка за производство без контаминација и построгите толеранции во производството на чипови, употребата на керамички крајни ефектори брзо станува индустриски стандард.

Принцип на производство

Изработката наSiC керамички крајни ефекторивклучува серија процеси со висока прецизност и висока чистота кои обезбедуваат и перформанси и издржливост. Вообичаено се користат два главни процеси:

Реакционо-врзан силициум карбид (RB-SiC)

Во овој процес, преформа направена од силициум карбиден прав и врзивно средство се инфилтрира со стопен силициум на високи температури (~1500°C), кој реагира со преостанатиот јаглерод за да формира густ, крут SiC-Si композит. Овој метод нуди одлична димензионална контрола и е исплатлив за производство на големи размери.

Синтеруван силициум карбид без притисок (SSiC)

SSiC се добива со синтерување на ултрафин, високочист SiC прав на екстремно високи температури (>2000°C) без употреба на адитиви или врзувачка фаза. Ова резултира со производ со речиси 100% густина и највисоки механички и термички својства достапни меѓу SiC материјалите. Идеален е за ултракритични апликации за ракување со плочки.

Пост-обработка

Прецизна CNC машинска обработкаПостигнува висока рамномерност и паралелизам.
Завршна обработка на површиниПолирањето со дијамант ја намалува грубоста на површината на <0,02 µm.
ИнспекцијаЗа верификација на секое парче се користат оптичка интерферометрија, CMM и недеструктивно тестирање.

Овие чекори гарантираат декаSiC краен ефекторОвозможува конзистентна точност на поставување на плочки, одлична рамност и минимално генерирање на честички.

Клучни карактеристики и придобивки

Функција	Опис
Ултра висока тврдост	Викерсова тврдост > 2500 HV, отпорна на абење и кршење.
Ниска термичка експанзија	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, што овозможува димензионална стабилност при термички циклус.
Хемиска инертност	Отпорен на HF, HCl, плазма гасови и други корозивни агенси.
Одлична отпорност на термички шок	Погодно за брзо загревање/ладење во вакуумски и печки системи.
Висока цврстина и цврстина	Поддржува долги конзолни краци на вилушката без деформација.
Ниско испуштање гасови	Идеално за средини со ултра висок вакуум (UHV).
ISO Класа 1 Подготвен за чисти простории	Работата без честички обезбедува интегритет на плочката.

Апликации

Керамичкиот ефектор за вилушка SiC е широко користен во индустрии кои бараат екстремна прецизност, чистота и хемиска отпорност. Клучните сценарија за примена вклучуваат:

Производство на полупроводници

Вчитување/растоварување на плочка во системи за депозиција (CVD, PVD), јоргање (RIE, DRIE) и чистење.
Роботски транспорт на плочки помеѓу FOUP-ови, касети и процесни алатки.
Ракување со високи температури за време на термичка обработка или жарење.

Производство на фотоволтаични ќелии

Деликатен транспорт на кршливи силиконски плочки или соларни подлоги во автоматизирани линии.

Индустрија за рамни панели (FPD)

Преместување на големи стаклени панели или подлоги во OLED/LCD продукциски средини.

Сложен полупроводник / MEMS

Се користи во производствени линии од GaN, SiC и MEMS каде што контролата на контаминацијата и точноста на позиционирањето се клучни.

Неговата улога на краен ефектор е особено клучна за обезбедување стабилно ракување без дефекти за време на чувствителни операции.

Можности за прилагодување

Нудиме широка персонализација за да ги задоволиме различните барања за опрема и процеси:

Дизајн на вилушкиРаспореди со два крака, со повеќе прсти или на поделено ниво.
Компатибилност на големината на плочката: Обланди од 2” до 12”.
Монтирачки интерфејсиКомпатибилен со OEM роботски раце.
Дебелина и толеранции на површинатаДостапна е рамност на микронско ниво и заоблување на рабовите.
Карактеристики против лизгањеОпционални површински текстури или премази за сигурно прилепување на плочката.

Секојкерамички краен ефекторе ко-дизајниран со клиенти за да се обезбеди прецизно вклопување со минимални промени во алатките.

Често поставувани прашања (ЧПП)

П1: По што е SiC подобар од кварцот за примена на краен ефектор?
А1:Иако кварцот најчесто се користи поради својата чистота, му недостасува механичка цврстина и е склонен кон кршење под оптоварување или температурен шок. SiC нуди супериорна цврстина, отпорност на абење и термичка стабилност, значително намалувајќи го ризикот од застој и оштетување на плочките.

П2: Дали оваа керамичка вилушка е компатибилна со сите роботски обработувачи на плочки?
А2:Да, нашите керамички крајни ефектори се компатибилни со повеќето поголеми системи за ракување со плочки и можат да се прилагодат на вашите специфични роботски модели со прецизни инженерски цртежи.

П3: Може ли да се справи со плочки од 300 mm без искривување?
А3:Апсолутно. Високата цврстина на SiC им овозможува дури и на тенките, долги вилушки краци безбедно да држат плочки од 300 mm без да се спуштат или деформираат за време на движење.

П4: Кој е типичниот век на траење на SiC керамички краен ефектор?
А4:Со правилна употреба, крајниот ефектор од SiC може да трае 5 до 10 пати подолго од традиционалните кварцни или алуминиумски модели, благодарение на неговата одлична отпорност на термички и механички стрес.

П5: Дали нудите замени или услуги за брзо прототипирање?
А5:Да, ние поддржуваме брзо производство на примероци и нудиме услуги за замена врз основа на CAD цртежи или обратно инженерски делови од постоечка опрема.

За нас

XKH е специјализирана за високотехнолошки развој, производство и продажба на специјално оптичко стакло и нови кристални материјали. Нашите производи се наменети за оптичка електроника, потрошувачка електроника и војска. Нудиме сафирни оптички компоненти, капаци за леќи за мобилни телефони, керамика, LT, силициум карбиден SIC, кварц и полупроводнички кристални плочки. Со стручна експертиза и најсовремена опрема, ние се истакнуваме во преработката на нестандардни производи, со цел да бидеме водечка високотехнолошка компанија за оптоелектронски материјали.