Рачка за носење на крајниот ефектор од SiC керамика за носење на плочки

Рачка за носење на краен ефектор од SiC керамика за носење на плочки. Препорачана слика

Краток опис:

LiNbO₃ плочките претставуваат златен стандард во интегрираната фотоника и прецизната акустика, обезбедувајќи неспоредливи перформанси во современите оптоелектронски системи. Како водечки производител, ја усовршивме уметноста на производство на овие инженерски подлоги преку напредни техники за рамнотежа на транспорт на пареа, постигнувајќи водечка во индустријата кристална совршеност со густина на дефекти под 50/cm².

Производствените можности на XKH опфаќаат дијаметри од 75 mm до 150 mm, со прецизна контрола на ориентацијата (X/Y/Z-пресек ±0,3°) и специјализирани опции за допирање, вклучувајќи ретки земни елементи. Уникатната комбинација на својства кај LiNbO₃ плочките - вклучувајќи го нивниот извонреден коефициент r₃₃ (32±2 pm/V) и широката транспарентност од близу UV до средна инфрацрвена светлина - ги прави неопходни за фотонските кола од следната генерација и високофреквентните акустични уреди.

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

Краен ефектор од SiC керамички материјал Апстракт

Керамичкиот краен ефектор од SiC (силициум карбид) е критична компонента во високопрецизните системи за ракување со плочки што се користат во производството на полупроводници и напредните средини за микрофабрикација. Конструиран да ги задоволи барањата за ултрачисти, високи температури и високостабилни средини, овој специјализиран краен ефектор обезбедува сигурен и безконтаминација транспорт на плочки за време на клучните фази на производство, како што се литографија, јоргани и депонирање.

Искористувајќи ги супериорните материјални својства на силициум карбидот - како што се високата топлинска спроводливост, екстремната тврдост, одличната хемиска инертност и минималната термичка експанзија - SiC керамичкиот краен ефектор нуди неспоредлива механичка цврстина и димензионална стабилност дури и при брзо термичко циклусирање или во корозивни процесни комори. Неговото ниско генерирање на честички и карактеристиките на отпорност на плазма го прават особено погоден за апликации за обработка во чисти простории и вакуум, каде што одржувањето на интегритетот на површината на плочките и намалувањето на контаминацијата на честичките се од најголема важност.

Примена на SiC керамички краен ефектор

1. Ракување со полупроводнички плочки

SiC керамичките крајни ефектори се користат во полупроводничката индустрија за ракување со силиконски плочки за време на автоматизирано производство. Овие крајни ефектори обично се монтираат на роботски раце или системи за вакуумски трансфер и се дизајнирани да примат плочки со различни големини како што се 200 mm и 300 mm. Тие се неопходни во процеси како што се хемиско таложење на пареа (CVD), физичко таложење на пареа (PVD), јоргање и дифузија - каде што се вообичаени високи температури, вакуумски услови и корозивни гасови. Исклучителната термичка отпорност и хемиската стабилност на SiC го прават идеален материјал за издржување на такви сурови средини без деградација.

2. Компатибилност со чисти простории и правосмукалка

Во чисти простории и вакуумски услови, каде што контаминацијата на честичките мора да се минимизира, SiC керамиката нуди значајни предности. Густата, мазна површина на материјалот се спротивставува на генерирањето честички, помагајќи во одржувањето на интегритетот на плочките за време на транспортот. Ова ги прави крајните ефектори на SiC особено погодни за критични процеси како што се екстремна ултравиолетова литографија (EUV) и таложење на атомски слоеви (ALD), каде што чистотата е клучна. Понатаму, ниското испуштање гасови на SiC и високата отпорност на плазма обезбедуваат сигурни перформанси во вакуумски комори, продолжувајќи го животниот век на алатите и намалувајќи ја фреквенцијата на одржување.

3. Високопрецизни системи за позиционирање

Прецизноста и стабилноста се од витално значење кај напредните системи за ракување со плочки, особено во метрологијата, инспекција и опрема за усогласување. SiC керамиката има екстремно низок коефициент на термичка експанзија и висока цврстина, што му овозможува на крајниот ефектор да ја задржи својата структурна точност дури и под термички циклус или механичко оптоварување. Ова осигурува дека плочките остануваат прецизно порамнети за време на транспортот, минимизирајќи го ризикот од микрогребнатини, неусогласеност или грешки во мерењето - фактори кои се сè покритични кај процесните јазли под 5 nm.

Својства на SiC керамички краен ефектор

1. Висока механичка цврстина и тврдост

SiC керамиката поседува исклучителна механичка цврстина, со цврстина на свиткување што често надминува 400 MPa и вредности на Викерсова тврдост над 2000 HV. Ова ги прави многу отпорни на механички стрес, удар и абење, дури и по продолжена оперативна употреба. Високата цврстина на SiC, исто така, го минимизира отклонувањето за време на брзиот пренос на плочки, обезбедувајќи точно и повторувачко позиционирање.

2. Одлична термичка стабилност

Едно од највредните својства на SiC керамиката е нивната способност да издржат екстремно високи температури - често до 1600°C во инертни атмосфери - без губење на механичкиот интегритет. Нивниот низок коефициент на термичка експанзија (~4,0 x 10⁻⁶ /K) обезбедува димензионална стабилност при термичко циклирање, што ги прави идеални за апликации како што се CVD, PVD и жарење на висока температура.

Прашања и одговори за краен ефектор од SiC керамички материјал

П: Кој материјал се користи во ефекторот на крајните плочи?

А:Ефекторите на крајните плочи најчесто се изработуваат од материјали кои нудат висока цврстина, термичка стабилност и ниско генерирање на честички. Меѓу нив, силициум карбидната (SiC) керамика е еден од најнапредните и најпосакуваните материјали. SiC керамиката е исклучително тврда, термички стабилна, хемиски инертна и отпорна на абење, што ги прави идеални за ракување со деликатни силициумски плочи во чисти простории и вакуумски средини. Во споредба со кварцот или обложените метали, SiC нуди супериорна димензионална стабилност при високи температури и не испушта честички, што помага да се спречи контаминација.