Sic керамички чак фиока керамички вшмукување чаши прецизна машинска обработка прилагодена

Sic керамички чак сад за керамички вшмукувачи прецизно обработка прилагодена прикажана слика

Краток опис:

Силиконски карбид керамички послужавник Sucker е идеален избор за производство на полупроводници заради неговата висока цврстина, висока термичка спроводливост и одлична хемиска стабилност. Неговата висока рамност и завршна површина обезбедуваат целосен контакт помеѓу нафора и морон, намалување на загадување и оштетување; Високата температура и отпорноста на корозија го прават погоден за груби околини на процеси; Во исто време, лесниот дизајн и долгите карактеристики на животот ги намалуваат трошоците за производство и се неопходни клучни компоненти при сечење на нафта, полирање, литографија и други процеси.

Испратете е -пошта до нас

Детали за производот

Ознаки за производи

Карактеристики на материјалот:

1. голема цврстина: цврстината на Мохс на силикон карбид е 9,2-9,5, секунда само на дијамант, со силен отпор на абење.
2. Висока термичка спроводливост: Топлинската спроводливост на силиконскиот карбид е дури 120-200 w/m · k, што може брзо да ја расипе топлината и е погодна за висока температурна околина.
3. Низок коефициент на термичка експанзија: Коефициентот на термичка експанзија на силикон карбид е мал (4,0-4,5 × 10⁻⁶/k), сè уште може да ја одржи димензионалната стабилност на висока температура.
4. Хемиска стабилност: Силиконска карбидна киселина и отпорност на алкална корозија, погодна за употреба во хемиска корозивна околина.
5. Висока механичка јачина: Силиконскиот карбид има голема јачина на свиткување и јачина на компресија и може да издржи голем механички стрес.

Карактеристики:

1. Во индустријата за полупроводнички, екстремно тенки нафора треба да бидат поставени на вакуумска чаша за вшмукување, вакуумското вшмукување се користи за да се поправат нафорите, а процесот на восочување, опаѓање, восочување, чистење и сечење се изведува на нафорите.
2. Silicon Carbide Sucker има добра термичка спроводливост, може ефикасно да го скрати времето на восочување и восочување, да ја подобри ефикасноста на производството.
3. Silicon Carbide Vacuum Sucker исто така има добра киселина и алкална отпорност на корозија.
4.Сопаден со традиционалната плоча за носач Corundum, скратете го времето на вчитување и растоварање на греење и ладење, подобрување на ефикасноста на работата; Во исто време, може да го намали абењето помеѓу горните и долните плочи, да одржува добра точност на рамнината и да го продолжи животниот век за околу 40%.
5. Материјалниот дел е мал, мала тежина. За операторите е полесно да носат палети, намалувајќи го ризикот од оштетување на судирот предизвикана од тешкотии во транспортот за околу 20%.
6. Големина: максимален дијаметар 640мм; Рамлина: 3ум или помалку

Поле за апликација:

1. Производство на полупроводници
● Обработка на нафта:
За фиксација на нафта во фотолитографија, гравирање, таложење на тенки филмови и други процеси, обезбедувајќи голема точност и конзистентност на процесите. Неговата висока температура и отпорност на корозија е погодна за груби околини за производство на полупроводници.
● Епитаксичен раст:
Во епитаксилниот раст на Sic или GAN, како носач за загревање и поправање на нафора, обезбедувајќи температурна униформност и квалитет на кристалот на високи температури, подобрување на перформансите на уредот.
2. Фотоелектрична опрема
● LED производство:
Се користи за да се поправи подлогата Sapphire или SIC, и како носач на греење во процесот на MOCVD, за да се обезбеди униформност на епитаксијалниот раст, да се подобри LED сјајната ефикасност и квалитетот.
● Ласерска диода:
Како тела за висока прецизност, фиксирање и греење на подлогата за да се обезбеди стабилност на температурата на процесот, да се подобри излезната моќност и сигурноста на ласерската диода.
3. Прецизна машинска обработка
● Обработка на оптичка компонента:
Се користи за фиксирање на прецизни компоненти како што се оптички леќи и филтри за да се обезбеди голема прецизност и ниско загадување за време на обработката и е погодна за машинска обработка со висок интензитет.
● Керамичка обработка:
Како висока стабилност, таа е погодна за прецизно обработка на керамички материјали за да се обезбеди точност и конзистентност на обработката под висока температура и корозивна околина.
4. Научни експерименти
● Експеримент со висока температура:
Како уред за фиксација на примерокот во околини со висока температура, поддржува екстремни температурни експерименти над 1600 ° C за да се обезбеди температурна униформност и стабилност на примерокот.
● Вакуумски тест:
Како носач за фиксирање и греење на примерок во вакуумско опкружување, за да се обезбеди точност и повторливост на експериментот, погоден за вакуумско обложување и третман на топлина.

Технички спецификации

(Материјална сопственост)		(Единица)	(SSIC)
(Содржина на sic)		(Wt)%	> 99
(Просечна големина на жито)		микрон	4-10
(Густина)		kg/dm3	> 3.14
(Очигледна порозност)		VO1%	<0,5
(Викерс цврстина)	HV 0,5	Успех	28
(Флексурална јачина) (три бода)	20ºC	МПА	450
(Компресивна јачина)	20ºC	МПА	3900
(Еластичен модул)	20ºC	Успех	420
(Цврстина на фрактура)		MPa/m '%	3.5
(Термичка спроводливост)	20 ° ºC	*W/(mk)**	160
(Отпорност)	20 ° ºC	Ом.cm	106-108
(Коефициент на термичка експанзија)	А (РТ ... 80ºC)**	*К-110-6**	4.3
(Максимална работна температура)		oºC	1700 година

Со години на техничка акумулација и искуство во индустријата, XKH е во состојба да ги прилагоди клучните параметри како што се големината, методот на греење и дизајнот на адсорпција на вакуум на Чак според специфичните потреби на клиентот, осигурувајќи дека производот е совршено прилагоден на процесот на клиентот. Керамички чакови од силикон карбид станаа неопходни компоненти во обработката на нафта, епитаксијален раст и други клучни процеси заради нивната одлична термичка спроводливост, стабилност на висока температура и хемиска стабилност. Особено во производството на полупроводнички материјали од трета генерација, како што се SIC и GAN, побарувачката за силиконски карбид керамички чакови продолжува да расте. Во иднина, со брз развој на 5G, електрични возила, вештачка интелигенција и други технологии, изгледите за апликација на силиконските карбидни керамички чакови во индустријата за полупроводници ќе бидат пошироки.