Сувото гравирање со шарена сафирна подлога PSS 2 инчи, 4 инчи, 6 инчи ICP може да се користи за LED чипови.
Основна карактеристика
1. Карактеристики на материјалот: Материјалот на подлогата е монокристален сафир (Al₂O₃), со висока тврдост, висока отпорност на топлина и хемиска стабилност.
2. Површинска структура: Површината се формира со фотолитографија и гравирање во периодични микро-нано структури, како што се конуси, пирамиди или хексагонални низи.
3. Оптички перформанси: Преку дизајнот на површинско обликување, вкупната рефлексија на светлината на интерфејсот е намалена, а ефикасноста на екстракција на светлината е подобрена.
4. Термички перформанси: Сафирната подлога има одлична топлинска спроводливост, погодна за LED апликации со висока моќност.
5. Спецификации за големина: Вообичаени големини се 2 инчи (50,8 мм), 4 инчи (100 мм) и 6 инчи (150 мм).
Главни области на примена
1. Производство на LED диоди:
Подобрена ефикасност на екстракција на светлина: PSS го намалува губитокот на светлина преку дизајн со шари, значително подобрувајќи ја осветленоста на LED диодите и светлосната ефикасност.
Подобрен квалитет на епитаксијален раст: Шарената структура обезбедува подобра основа за раст за епитаксијалните слоеви од GaN и ги подобрува перформансите на LED диодите.
2. Ласерска диода (LD):
Ласери со голема моќност: Високата топлинска спроводливост и стабилноста на PSS се погодни за ласерски диоди со голема моќност, подобрувајќи ги перформансите и сигурноста на дисипација на топлина.
Низок праг на струја: Оптимизирајте го епитаксијалниот раст, намалете ја прагот на струја на ласерската диода и подобрете ја ефикасноста.
3. Фотодетектор:
Висока чувствителност: Високата пропустливост на светлина и ниската густина на дефекти на PSS ја подобруваат чувствителноста и брзината на одговор на фотодетекторот.
Широк спектрален одговор: погоден за фотоелектрична детекција во ултравиолетовиот до видливиот опсег.
4. Енергетска електроника:
Отпорност на висок напон: Високата изолација и термичката стабилност на сафирот се погодни за уреди со висок напон.
Ефикасна дисипација на топлина: Високата топлинска спроводливост ги подобрува перформансите на дисипација на топлина на енергетските уреди и го продолжува работниот век.
5. РФ уреди:
Високофреквентни перформанси: Ниските диелектрични загуби и високата термичка стабилност на PSS се погодни за високофреквентни RF уреди.
Низок шум: Високата рамност и ниската густина на дефекти го намалуваат шумот на уредот и го подобруваат квалитетот на сигналот.
6. Биосензори:
Детекција со висока чувствителност: Високата пропустливост на светлина и хемиската стабилност на PSS се погодни за биосензори со висока чувствителност.
Биокомпатибилност: Биокомпатибилноста на сафирот го прави погоден за медицински и биодетектонски апликации.
Шарена сафирна подлога (PSS) со GaN епитаксијален материјал:
Подлогата од шарен сафир (PSS) е идеална подлога за епитаксијален раст на GaN (галиум нитрид). Константата на решетката на сафирот е блиску до GaN, што може да ги намали несовпаѓањата на решетката и дефектите во епитаксијалниот раст. Микро-нано структурата на површината на PSS не само што ја подобрува ефикасноста на екстракција на светлина, туку го подобрува и квалитетот на кристалот на епитаксијалниот слој на GaN, со што се подобруваат перформансите и сигурноста на LED диодата.
Технички параметри
Ставка | Подлога со шари од сафир (2~6 инчи) | ||
Дијаметар | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
Дебелина | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Површинска ориентација | C-рамнина (0001) надвор од агол кон M-оската (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
C-рамнина (0001) надвор од агол кон A-оската (11-20) 0 ± 0,1° | |||
Примарна рамна ориентација | А-рамнина (11-20) ± 1,0° | ||
Примарна рамна должина | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
R-рамнина | 9 часот | ||
Завршна обработка на предната површина | Шарено | ||
Завршна обработка на задната површина | SSP: Фино мелено, Ra=0,8-1,2um; DSP: Епи-полирано, Ra<0,3nm | ||
Ласерска марка | Задна страна | ||
ТТВ | ≤8μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
ЛАК | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
WARP | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
Исклучување на рабовите | ≤2 мм | ||
Спецификација на шемата | Структура на обликот | Купола, конус, пирамида | |
Висина на шаблонот | 1,6~1,8 μm | ||
Дијаметар на моделот | 2,75~2,85 μm | ||
Простор на шаблони | 0,1~0,3 μm |
XKH е специјализирана за обезбедување висококвалитетни, прилагодени сафирни подлоги (PSS) со техничка поддршка и постпродажни услуги за да им помогне на клиентите да постигнат ефикасна иновација во областа на LED диоди, дисплеи и оптоелектроника.
1. Висококвалитетна PSS испорака: Шарени сафирни подлоги во различни големини (2", 4", 6") за да се задоволат потребите на LED диоди, дисплеи и оптоелектронски уреди.
2. Прилагоден дизајн: Прилагодете ја површинската микро-нано структура (како што се конус, пирамида или хексагонален низ) според потребите на клиентот за да ја оптимизирате ефикасноста на екстракција на светлина.
3. Техничка поддршка: Обезбедете дизајн на PSS апликација, оптимизација на процесите и технички консултации за да им помогнете на клиентите да ги подобрат перформансите на производот.
4. Поддршка за епитаксијален раст: Обезбеден е PSS усогласен со епитаксијален материјал од GaN за да се обезбеди висококвалитетен раст на епитаксијалниот слој.
5. Тестирање и сертификација: Обезбедете извештај за инспекција на квалитетот на PSS за да се осигурате дека производите ги исполнуваат индустриските стандарди.
Детален дијаграм


