Со континуираниот развој на технологијата на полупроводници, во индустријата за полупроводници, па дури и во фотоволтаичната индустрија, барањата за квалитетот на површината на подлогата од обланда или епитаксијалниот лист се исто така многу строги.Значи, кои се барањата за квалитет за наполитанки?Земајќи ги на пример обландите од сафир, кои индикатори може да се користат за да се оцени квалитетот на површината на наполитанките?
Кои се индикаторите за евалуација на наполитанките?
Трите индикатори
За сафирните наполитанки, неговите индикатори за евалуација се отстапување на вкупната дебелина (TTV), свиткување (Bow) и Warp (Warp).Овие три параметри заедно ја рефлектираат рамномерноста и густината на силиконската обланда и можат да го измерат степенот на бранување на нафората.Брановидата може да се комбинира со плошноста за да се оцени квалитетот на површината на обландата.
Што е TTV, BOW, Warp?
TTV (варијација на вкупна дебелина)
TTV е разликата помеѓу максималната и минималната дебелина на нафора.Овој параметар е важен индекс што се користи за мерење на униформноста на дебелината на нафората.Во полупроводнички процес, дебелината на нафората мора да биде многу униформа на целата површина.Мерењата обично се прават на пет локации на нафората и се пресметува разликата.На крајот на краиштата, оваа вредност е важна основа за оценување на квалитетот на нафората.
Лак
Лакот во производството на полупроводници се однесува на свиткување на нафора, ослободувајќи го растојанието помеѓу средната точка на незатегната нафора и референтната рамнина.Зборот веројатно доаѓа од описот на обликот на предметот кога е свиткан, како заоблен облик на лак.Вредноста Bow се дефинира со мерење на отстапувањето помеѓу центарот и работ на силиконската обланда.Оваа вредност обично се изразува во микрометри (µm).
Искривување
Warp е глобално својство на обландите што ја мери разликата помеѓу максималното и минималното растојание помеѓу средината на слободно незатисната обланда и референтната рамнина.Го претставува растојанието од површината на силиконската обланда до рамнината.
Која е разликата помеѓу TTV, Bow, Warp?
TTV се фокусира на промените во дебелината и не се занимава со свиткување или изобличување на нафората.
Лакот се фокусира на целокупниот свиок, главно земајќи го предвид свиокот на централната точка и работ.
Warp е посеопфатен, вклучувајќи виткање и извртување на целата површина на обландата.
Иако овие три параметри се поврзани со обликот и геометриските својства на силиконската обланда, тие се мерат и опишуваат поинаку, а различно е и нивното влијание врз полупроводничкиот процес и обработката на обландата.
Колку се помали трите параметри, толку подобро, а колку е поголем параметарот, толку е поголемо негативното влијание врз полупроводничкиот процес.Затоа, како полупроводнички лекар, мора да ја сфатиме важноста на параметрите на профилот на нафора за целиот процес на процес, да го направиме полупроводничкиот процес, мора да обрнеме внимание на деталите.
(цензурирање)
Време на објавување: 24.06.2024