Известување за долгорочно стабилно снабдување со 8 инчи SiC

Во моментов, нашата компанија може да продолжи да снабдува мала серија на наполитанки од типот SiC од 8 инчи, доколку имате потреби за примероци, слободно контактирајте ме. Имаме некои примероци нафора подготвени за испорака.

Известување за долгорочно стабилно снабдување со 8 инчи SiC
Долгорочно стабилно снабдување со 8-инчен SiC известување1

Во областа на полупроводничките материјали, компанијата направи голем чекор напред во истражувањето и развојот на SiC кристали со големи димензии. Со користење на сопствени кристали по повеќекратни кругови на зголемување на дијаметарот, компанијата успешно одгледува 8-инчни N-тип на SiC кристали, што решава тешки проблеми како што се нерамномерно температурно поле, пукање на кристалот и дистрибуција на суровина во гасна фаза во процесот на раст на 8-инчни SIC кристали и го забрзува растот на SIC кристалите со големи димензии и автономната и контролирана технологија за обработка. Во голема мера ја подобрува основната конкурентност на компанијата во индустријата за субстрат со еднокристал SiC. Во исто време, компанијата активно промовира акумулација на технологија и процес на експериментална линија за подготовка на супстрат од силициум карбид со големи димензии, ја зајакнува техничката размена и индустриската соработка во спротиводно и низводно полиња и соработува со клиентите за постојано повторување на перформансите на производот и заеднички го промовира темпото на индустриска примена на материјали од силициум карбид.

8-инчни N-тип SiC DSP спецификации

Број Ставка Единица Производство Истражување Кукла
1. Параметри
1.1 политип -- 4H 4H 4H
1.2 ориентација на површината ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Електричен параметар
2.1 допант -- Азот од n-тип Азот од n-тип Азот од n-тип
2.2 отпорност ом · см 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Механички параметар
3.1 дијаметар mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 дебелина μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Ориентација со изрез ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Длабочина на изрез mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 ЛТВ μm ≤5 (10мм*10мм) ≤5 (10мм*10мм) ≤10 (10мм*10мм)
3.6 ТТВ μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Лак μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Искривување μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 АФМ nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Структура
4.1 густина на микроцевки ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 содржина на метал атоми/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 ТСД ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 БПД ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 ТЕД ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Позитивен квалитет
5.1 предниот дел -- Si Si Si
5.2 финиш на површината -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 честичка еа/нафора ≤100 (големина≥0,3μm) NA NA
5.4 гребење еа/нафора ≤5, Вкупна должина≤200мм NA NA
5.5 Работ
чипови / вдлабнатини / пукнатини / дамки / контаминација
-- Никој Никој NA
5.6 Политипски области -- Никој Површина ≤10% Површина ≤30%
5.7 предно обележување -- Никој Никој Никој
6. Квалитет на грбот
6.1 задна завршница -- Ц-лице пратеник Ц-лице пратеник Ц-лице пратеник
6.2 гребење mm NA NA NA
6.3 Назад дефекти работ
чипови/вдлабнатини
-- Никој Никој NA
6.4 Грубоста на грбот nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Обележување на грбот -- Засек Засек Засек
7. Работ
7.1 раб -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. Пакет
8.1 пакување -- Епи-подготвен со вакуум
пакување
Епи-подготвен со вакуум
пакување
Епи-подготвен со вакуум
пакување
8.2 пакување -- Мулти-нафора
пакување со касети
Мулти-нафора
пакување со касети
Мулти-нафора
пакување со касети

Време на објавување: април-18-2023 година