SPC (Statistical Process Control) е клучна алатка во процесот на производство на нафора, која се користи за следење, контрола и подобрување на стабилноста на различни фази во производството.
1. Преглед на SPC системот
SPC е метод кој користи статистички техники за следење и контрола на производните процеси. Неговата основна функција е да открие аномалии во производниот процес преку собирање и анализа на податоци во реално време, помагајќи им на инженерите да направат навремени прилагодувања и одлуки. Целта на SPC е да ги намали разликите во производствениот процес, осигурувајќи дека квалитетот на производот останува стабилен и ги исполнува спецификациите.
SPC се користи во процесот на офорт за:
Следете ги критичните параметри на опремата (на пр., брзина на офорт, моќност на RF, притисок во комората, температура итн.)
Анализирајте ги клучните индикатори за квалитет на производот (на пр., ширина на линија, длабочина на офорт, грубост на рабовите, итн.)
Со следење на овие параметри, инженерите можат да детектираат трендови што укажуваат на деградација на перформансите на опремата или отстапувања во процесот на производство, со што се намалуваат стапките на отпад.
2. Основни компоненти на SPC системот
Системот SPC е составен од неколку клучни модули:
Модул за собирање податоци: собира податоци во реално време од опремата и тековите на процесите (на пр. преку FDC, EES системи) и ги евидентира важните параметри и производните резултати.
Модул за контролна табела: Користи статистички контролни графикони (на пр. графикон со X-ленти, графикон R, графикон Cp/Cpk) за да се визуелизира стабилноста на процесот и да помогне да се утврди дали процесот е под контрола.
Систем за аларм: Активира аларми кога критичните параметри ги надминуваат контролните ограничувања или покажуваат промени во трендот, што ги поттикнува инженерите да преземат акција.
Модул за анализа и известување: Ја анализира основната причина за аномалиите врз основа на графиконите на SPC и редовно генерира извештаи за перформансите за процесот и опремата.
3. Детално објаснување на контролните графикони во SPC
Контролните табели се една од најчесто користените алатки во SPC, кои помагаат да се направи разлика помеѓу „нормални варијации“ (предизвикани од природни варијации на процесот) и „абнормални варијации“ (предизвикани од дефекти на опремата или отстапувања на процесот). Вообичаените контролни табели вклучуваат:
X-Bar и R графикони: Се користат за следење на средната вредност и опсегот во производните серии за да се набљудува дали процесот е стабилен.
Индекси на Cp и Cpk: Се користат за мерење на способноста на процесот, т.е. дали излезниот процес може постојано да ги исполнува барањата на спецификацијата. Cp ја мери потенцијалната способност, додека Cpk го зема предвид отстапувањето на процесниот центар од границите на спецификацијата.
На пример, во процесот на офорт, може да ги следите параметрите како брзината на офорт и грубоста на површината. Ако стапката на оградување на одредено парче опрема ја надминува контролната граница, можете да користите контролни графикони за да одредите дали ова е природна варијација или индикација за дефект на опремата.
4. Примена на SPC во опрема за офорт
Во процесот на офорт, контролирањето на параметрите на опремата е критично, а SPC помага да се подобри стабилноста на процесот на следниве начини:
Следење на состојбата на опремата: Системите како FDC собираат податоци во реално време за клучните параметри на опремата за офорт (на пример, RF моќност, проток на гас) и ги комбинираат овие податоци со контролните графикони на SPC за да откријат потенцијални проблеми со опремата. На пример, ако видите дека моќноста на RF на контролната табела постепено отстапува од поставената вредност, можете да преземете рано дејство за прилагодување или одржување за да избегнете влијание врз квалитетот на производот.
Следење на квалитетот на производот: Можете исто така да внесете клучни параметри за квалитет на производот (на пр. длабочина на офорт, ширина на линија) во системот SPC за да ја следите нивната стабилност. Ако некои критични индикатори на производот постепено отстапуваат од целните вредности, системот SPC ќе издаде аларм, што покажува дека се потребни прилагодувања на процесот.
Превентивно одржување (PM): SPC може да помогне да се оптимизира циклусот на превентивно одржување на опремата. Со анализа на долгорочните податоци за перформансите на опремата и резултатите од процесот, можете да го одредите оптималното време за одржување на опремата. На пример, со следење на моќноста на RF и животниот век на ESC, можете да одредите кога е потребно чистење или замена на компонентите, намалувајќи ги стапките на дефект на опремата и времето на прекин на производството.
5. Совети за дневна употреба за SPC системот
Кога го користите системот SPC во секојдневните операции, може да се следат следниве чекори:
Дефинирајте ги клучните контролни параметри (KPI): Идентификувајте ги најважните параметри во производниот процес и вклучете ги во следењето на SPC. Овие параметри треба да бидат тесно поврзани со квалитетот на производот и перформансите на опремата.
Поставете контролни ограничувања и ограничувања за аларм: врз основа на историските податоци и барањата за процесот, поставете разумни контролни ограничувања и ограничувања за аларм за секој параметар. Контролните граници обично се поставуваат на ±3σ (стандардни отстапувања), додека границите за аларм се засноваат на специфичните услови на процесот и опремата.
Континуирано следење и анализа: Редовно прегледувајте ги контролните графикони на SPC за да ги анализирате трендовите и варијациите на податоците. Ако некои параметри ги надминуваат контролните ограничувања, потребна е итна акција, како што се прилагодување на параметрите на опремата или одржување на опремата.
Ракување со абнормалности и анализа на основната причина: Кога ќе се појави абнормалност, системот SPC снима детални информации за инцидентот. Потребно е да ги решите проблемите и да ја анализирате основната причина за абнормалноста врз основа на овие информации. Често е можно да се комбинираат податоци од FDC системи, EES системи итн., за да се анализира дали проблемот се должи на дефект на опремата, отстапување на процесот или надворешни фактори на животната средина.
Континуирано подобрување: Користејќи ги историските податоци снимени од системот SPC, идентификувајте ги слабите точки во процесот и предложете планови за подобрување. На пример, во процесот на офорт, анализирајте го влијанието на животниот век на ESC и методите за чистење врз циклусите на одржување на опремата и континуирано оптимизирајте ги параметрите за работа на опремата.
6. Случај за практична примена
Како практичен пример, да претпоставиме дека сте одговорни за опремата за офорт E-MAX, а катодата на комората се соочува со предвремено абење, што доведува до зголемување на вредностите на D0 (дефект BARC). Со следење на моќноста на RF и брзината на гравирање преку системот SPC, забележувате тренд каде овие параметри постепено отстапуваат од нивните поставени вредности. Откако ќе се активира SPC алармот, ги комбинирате податоците од системот FDC и утврдувате дека проблемот е предизвикан од нестабилна контрола на температурата во комората. Потоа имплементирате нови методи за чистење и стратегии за одржување, на крајот намалувајќи ја вредноста на D0 од 4,3 на 2,4, а со тоа го подобрувате квалитетот на производот.
7.Во XINKEHUI можете да добиете.
Во XINKEHUI, можете да постигнете совршена обланда, без разлика дали се работи за силиконски или SiC обланда. Ние сме специјализирани за испорака на наполитанки со врвен квалитет за различни индустрии, фокусирајќи се на прецизност и перформанси.
(силиконски нафора)
Нашите силиконски наполитанки се изработени со врвна чистота и униформност, обезбедувајќи одлични електрични својства за вашите потреби за полупроводници.
За посложени апликации, нашите наполитанки SiC нудат исклучителна топлинска спроводливост и поголема ефикасност на енергија, идеални за енергетска електроника и средини со висока температура.
(SiC нафора)
Со XINKEHUI, добивате врвна технологија и сигурна поддршка, гарантирајќи наполитанки кои ги исполнуваат највисоките индустриски стандарди. Изберете нас за вашето совршенство на нафора!
Време на објавување: Октомври-16-2024 година