Подлогата од силициум карбид е поделена на полуизолациски тип и проводен тип. Во моментов, главната спецификација на полуизолирани производи од супстрат од силициум карбид е 4 инчи. На пазарот на проводен силициум карбид, тековната спецификација на производот за мејнстрим супстрат е 6 инчи.
Поради примената низводно во полето на RF, полуизолираните SiC подлоги и епитаксијалните материјали се предмет на контрола на извозот од страна на Министерството за трговија на САД. Полуизолираниот SiC како подлога е најпосакуваниот материјал за GaN хетероепитаксијата и има важни изгледи за примена во полето на микробранова печка. Во споредба со кристалната неусогласеност на сафирот 14% и Si 16,9%, кристалната неусогласеност на материјалите SiC и GaN е само 3,4%. Заедно со ултра високата топлинска спроводливост на SiC, уредите со висока енергетска ефикасност LED и GaN микробрановите уреди со висока фреквенција и висока моќност подготвени од него имаат големи предности во радарот, микробрановата опрема со висока моќност и комуникациските системи 5G.
Истражувањето и развојот на полуизолирана подлога на SiC отсекогаш биле во фокусот на истражувањето и развојот на еднокристалната подлога на SiC. Постојат две главни потешкотии во одгледувањето на полуизолирани SiC материјали:
1) Намалете ги N донаторски нечистотии внесени од графитниот сад, адсорпцијата на топлинска изолација и допингот во прав;
2) Додека се обезбедува квалитетот и електричните својства на кристалот, се воведува центар на длабоко ниво за да се компензира преостанатата нечистотија на плитко ниво со електрична активност.
Во моментов, производителите со полуизолиран производствен капацитет на SiC се главно SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Спроводливиот SiC кристал се постигнува со инјектирање на азот во растечката атмосфера. Проводен супстрат од силициум карбид главно се користи во производството на уреди за напојување, моќни уреди со силициум карбид со висок напон, висока струја, висока температура, висока фреквенција, мала загуба и други уникатни предности, во голема мера ќе ја подобри постоечката употреба на енергетски уреди базирани на силикон енергија ефикасност на конверзија, има значајно и далекусежно влијание на полето на ефикасна енергетска конверзија. Главните области на примена се електрични возила/купови за полнење, фотоволтаична нова енергија, железнички транзит, паметна мрежа и така натаму. Бидејќи низводно на спроводливите производи се главно уреди за напојување во електрични возила, фотоволтаични и други полиња, изгледите за примена се пошироки, а производителите се побројни.
Тип на кристал од силициум карбид: Типичната структура на најдобриот 4H кристален силициум карбид може да се подели во две категории, едната е кубен силициум карбид кристален тип на сфалеритна структура, позната како 3C-SiC или β-SiC, а другата е хексагонална или дијамантска структура на структурата на голем период, која е типична за 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, итн., колективно познати како α-SiC. 3C-SiC ја има предноста на високата отпорност во производните уреди. Сепак, големата неусогласеност помеѓу константите на решетката Si и SiC и коефициентите на термичка експанзија може да доведе до голем број дефекти во епитаксијалниот слој 3C-SiC. 4H-SiC има голем потенцијал во производството на MOSFET, бидејќи неговите процеси на раст на кристалот и растот на епитаксијалниот слој се поодлични, а во однос на подвижноста на електроните, 4H-SiC е повисок од 3C-SiC и 6H-SiC, обезбедувајќи подобри микробранови карактеристики за 4H -SiC MOSFET-ови.
Ако има прекршок, контактот избришете
Време на објавување: 16 јули 2024 година