FZ CZ Si плочка на залиха 12-инчна силиконска плочка Prime или Test
Воведување на кутија за вафли
Полирани вафли
Силиконски плочки кои се специјално полирани од двете страни за да се добие огледална површина. Супериорните карактеристики како што се чистотата и рамноста ги дефинираат најдобрите карактеристики на оваа плочка.
Недопирани силиконски плочки
Тие се познати и како интринзични силиконски плочки. Овој полупроводник е чиста кристална форма на силициум без присуство на никаков допант низ целата плоча, што го прави идеален и совршен полупроводник.
Допирани силиконски плочки
N-тип и P-тип се два вида на допирани силиконски плочки.
N-тип допираните силиконски плочки содржат арсен или фосфор. Широко се користи во производството на напредни CMOS уреди.
Силиконски плочки од P-тип допирани со бор. Најчесто се користи за изработка на печатени кола или фотолитографија.
Епитаксијални вафли
Епитаксијалните плочки се конвенционални плочки што се користат за постигнување на површинска интегритет. Епитаксијалните плочки се достапни во дебели и тенки плочки.
Повеќеслојни епитаксијални плочки и дебели епитаксијални плочки се користат и за регулирање на потрошувачката на енергија и контрола на моќноста на уредите.
Тенките епитаксијални плочки најчесто се користат кај супериорните MOS инструменти.
SOI вафли
Овие плочки се користат за електрична изолација на фини слоеви од монокристален силициум од целата силициумска плоча. SOI плочките најчесто се користат во силициумската фотоника и високо-перформансните RF апликации. SOI плочките се користат и за намалување на капацитетот на паразитските уреди кај микроелектронските уреди, што помага да се подобрат перформансите.
Зошто е тешко да се изработи плочка?
Силиконските плочки од 12 инчи се многу тешки за сечење во однос на приносот. Иако силициумот е тврд, тој е исто така кршлив. Се создаваат груби површини бидејќи исечените рабови на плочките имаат тенденција да се кршат. Дијамантски дискови се користат за измазнување на рабовите на плочките и отстранување на какви било оштетувања. По сечењето, плочките лесно се кршат бидејќи сега имаат остри рабови. Рабовите на плочките се дизајнирани на таков начин што се елиминираат кршливите, остри рабови и се намалува можноста за лизгање. Како резултат на операцијата на формирање на работ, дијаметарот на плочките се прилагодува, плочките се заоблуваат (по сечењето, исечената плочки е овална) и се прават или димензионираат засеци или ориентирани рамнини.
Детален дијаграм


