8-инчен SiC плочка од производствен квалитет 4H-N SiC подлога
Следната табела ги прикажува спецификациите на нашите 8-инчни SiC плочки:
| Спецификации на 8-инчен N-тип SiC DSP | |||||
| Број | Ставка | Единица | Продукција | Истражување | Кукла |
| 1: параметри | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | површинска ориентација | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Електричен параметар | |||||
| 2.1 | допант | -- | n-тип на азот | n-тип на азот | n-тип на азот |
| 2.2 | отпорност | ом · см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механички параметар | |||||
| 3.1 | дијаметар | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | дебелина | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Ориентација на засек | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Длабочина на засекот | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | μm | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10 (10мм * 10мм) |
| 3.6 | ТТВ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Лак | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Искривување | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | АФМ | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Структура | |||||
| 4.1 | густина на микроцевки | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | содржина на метал | атоми/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ТСД | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | БПД | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | ТЕД | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Квалитет на предната страна | |||||
| 5.1 | напред | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | завршна површина | -- | Си-фаце CMP | Си-фаце CMP | Си-фаце CMP |
| 5.3 | честичка | парче/вафла | ≤100 (големина ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | гребење | парче/вафла | ≤5, вкупна должина ≤200 мм | NA | NA |
| 5,5 | Раб чипови/вдлабнатини/пукнатини/дамки/контаминација | -- | Ништо | Ништо | NA |
| 5.6 | Политипски области | -- | Ништо | Површина ≤10% | Површина ≤30% |
| 5.7 | предна ознака | -- | Ништо | Ништо | Ништо |
| 6: Квалитет на задната страна | |||||
| 6.1 | заден финиш | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | гребење | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Дефекти на грбот чипови/вдлабнатини | -- | Ништо | Ништо | NA |
| 6.4 | Грбност на грбот | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Обележување на задната страна | -- | Засек | Засек | Засек |
| 7: раб | |||||
| 7.1 | раб | -- | Закосување | Закосување | Закосување |
| 8: Пакет | |||||
| 8.1 | пакување | -- | Epi-ready со вакуум пакување | Epi-ready со вакуум пакување | Epi-ready со вакуум пакување |
| 8.2 | пакување | -- | Мулти-плоча касетно пакување | Мулти-плоча касетно пакување | Мулти-плоча касетно пакување |
Детален дијаграм
Напишете ја вашата порака овде и испратете ни ја