6-инчни 150 мм силициум-карбидни SiC плочки тип 4H-N за MOS или SBD производствени истражувања и фиктивна класа
Полиња на примена
6-инчната подлога од силициум карбид игра клучна улога во повеќе индустрии. Прво, таа е широко користена во полупроводничката индустрија за производство на електронски уреди со голема моќност како што се енергетски транзистори, интегрирани кола и енергетски модули. Нејзината висока топлинска спроводливост и отпорност на високи температури овозможуваат подобра дисипација на топлина, што резултира со подобрена ефикасност и сигурност. Второ, силициум карбидните плочки се неопходни во истражувачките полиња за развој на нови материјали и уреди. Дополнително, силициум карбидните плочки наоѓаат широка примена во областа на оптоелектрониката, вклучително и производство на LED диоди и ласерски диоди.
Спецификации на производот
Монокристалната подлога од силициум карбид од 6 инчи има дијаметар од 6 инчи (приближно 152,4 mm). Рапавоста на површината е Ra < 0,5 nm, а дебелината е 600 ± 25 μm. Подлогата може да се прилагоди со спроводливост од N-тип или P-тип, врз основа на барањата на клиентот. Покрај тоа, таа покажува исклучителна механичка стабилност, способна да издржи притисок и вибрации.
| Дијаметар | 150±2,0 мм (6 инчи) | ||||
| Дебелина | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Ориентација | На оска: <0001>±0.5° | Надвор од оската: 4,0° кон 1120±0,5° | |||
| Политип | 4H | ||||
| Отпорност (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Примарна рамна ориентација | {10-10}±5,0° | ||||
| Примарна рамна должина (мм) | 47,5 мм ± 2,5 мм | ||||
| Раб | Закосување | ||||
| TTV/Ласт/Искривување (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM преден дел (Si-face) | Полски Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| ТТВ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Кора од портокал/вдлабнатини/пукнатини/контаминација/дамки/брута | Ништо | Ништо | Ништо | ||
| вдлабнатини | Ништо | Ништо | Ништо | ||
6-инчната подлога од силициум карбид е високо-перформансен материјал кој широко се користи во полупроводничката, истражувачката и оптоелектронската индустрија. Нуди одлична топлинска спроводливост, механичка стабилност и отпорност на високи температури, што го прави погоден за производство на електронски уреди со голема моќност и истражување на нови материјали. Нудиме различни спецификации и опции за прилагодување за да ги задоволиме разновидните барања на клиентите.Контактирајте не за повеќе детали за силициум карбидни плочки!
Детален дијаграм
