4-инчна и 6-инчна литиум ниобатна монокристална филмска плочка LNOI
Процесот на подготовка на LNOI материјалите е главно поделен на следните четири чекори
(1) He јони беа инјектирани во X-резниот литиум ниобат материјал со одредена енергија и воведени во дефектниот слој на одредена длабочина под површинскиот слој на литиум ниобат;
(2) Материјалот од литиум ниобат имплантиран со јон е врзан за силиконска подлога со оксиден слој за да се формира врзувачка структура;
(3) Структурата на врзување беше жарена за да се развијат дефектите воведени со имплантацијата на јони He и да се агрегираат за да формираат пукнатини. Конечно, литиум ниобатот беше одвоен по должината на слојот на дефекти за да се формираат преостанатите парчиња од литиум ниобат и LNOI плочки.
Примени и предности на LNOI плочката
1--Пиезоелектричните филмови од литиум ниобат (LNOI) имаат висок пиезоелектричен коефициент и диелектрична константа, што може да ја претвори механичката енергија во електрична енергија или електричната енергија во механичка енергија. Затоа, тие се широко користени во областа на сензорите, како што се сензорите за притисок, сензорите за забрзување, сензорите за температура и така натаму. Покрај тоа, пиезоелектричниот филм од литиум ниобат може да се користи и во акустични уреди и уреди за вибрации, како што се пиезоелектрични керамички преобразувачи и комплексни пиезоелектрични керамички филтри.
2- Стабилноста на пиезоелектричната фолија од литиум ниобат е исто така една од нејзините предности. Поради стабилноста на кристалната структура и хемиската инертност, пиезоелектричната фолија од литиум ниобат може да работи на висока температура, висока влажност, силни киселини, силни алкалии и други сурови средини, со добра отпорност на корозија и издржливост.
3-литиум ниобатната пиезоелектрична фолија е нов пиезоелектричен материјал со одлични перформанси и стабилност, и има широка перспектива за примена. Со континуираниот развој на науката и технологијата, литиум ниобатната пиезоелектрична фолија ќе се применува во повеќе градови, носејќи поголема удобност и иновации во животот на луѓето.
Детален дијаграм


