4H/6H-P 6-инчна SiC плочка, нулта MPD класа, производствена класа, фиктивна класа
4H/6H-P Тип SiC Композитни подлоги Табела со општи параметри
6 подлога од силициум карбид (SiC) со дијаметар од инчи Спецификација
| Одделение | Нула MPD продукцијаСтепен (Z Одделение) | Стандардна продукцијаСтепен (П Одделение) | Лажна оценка (D Одделение) | ||
| Дијаметар | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
| Дебелина | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Ориентација на вафли | -Offоска: 2,0°-4,0° кон [1120] ± 0,5° за 4H/6H-P, На оската: 〈111〉± 0,5° за 3C-N | ||||
| Густина на микроцевки | 0 см-2 | ||||
| Отпорност | p-тип 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
| n-тип 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 м Ωꞏцм | |||
| Примарна рамна ориентација | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Примарна рамна должина | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Секундарна рамна должина | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Секундарна рамна ориентација | Силиконска страна нагоре: 90° лево-десно од прајмер рамно ± 5,0° | ||||
| Исклучување на рабовите | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Локален /Искривување | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Грубост | Полски Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
| Пукнатини на рабовите од светлина со висок интензитет | Ништо | Кумулативна должина ≤ 10 mm, единечна должина ≤2 mm | |||
| Шестоаголни плочи со светлина со висок интензитет | Кумулативна површина ≤0,05% | Кумулативна површина ≤0,1% | |||
| Политипски области со светлина со висок интензитет | Ништо | Кумулативна површина ≤3% | |||
| Визуелни јаглеродни инклузии | Кумулативна површина ≤0,05% | Кумулативна површина ≤3% | |||
| Гребнатини на силиконската површина од светлина со висок интензитет | Ништо | Кумулативна должина ≤1 × дијаметар на плочка | |||
| Чипови на рабовите со висок интензитет на светлина | Не е дозволено ≥0,2 mm ширина и длабочина | Дозволени се 5, ≤1 mm секое | |||
| Контаминација на силиконска површина со висок интензитет | Ништо | ||||
| Пакување | Касета со повеќе плочки или контејнер со еден плочки | ||||
Белешки:
※ Ограничувањата за дефекти важат за целата површина на плочката, освен за областа со исклучок на работ. # Гребнатините треба да се проверат на Si површината.
6-инчната SiC плочка од тип 4H/6H-P со нулта MPD класа и производствена или фиктивна класа е широко користена во напредни електронски апликации. Неговата одлична топлинска спроводливост, висок напон на дефект и отпорност на сурови средини ја прават идеална за енергетска електроника, како што се високонапонски прекинувачи и инвертори. Нултата MPD класа обезбедува минимални дефекти, што е клучно за уреди со висока сигурност. Производствените плочки се користат во големо производство на енергетски уреди и RF апликации, каде што перформансите и прецизноста се клучни. Од друга страна, фиктивните плочки се користат за калибрација на процеси, тестирање на опрема и прототипирање, овозможувајќи конзистентна контрола на квалитетот во производствените средини на полупроводници.
Предностите на N-тип SiC композитните подлоги вклучуваат
- Висока топлинска спроводливост4H/6H-P SiC плочката ефикасно ја распрснува топлината, што ја прави погодна за електронски апликации со висока температура и висока моќност.
- Висок напон на дефектНеговата способност да се справува со високи напони без дефекти го прави идеален за енергетска електроника и апликации за префрлување со висок напон.
- Нулта MPD (дефект на микро цевки) степенМинималната густина на дефекти обезбедува поголема сигурност и перформанси, што е клучно за електронските уреди со големи барања.
- Производствен степен за масовно производствоПогодно за производство на високо-перформансни полупроводнички уреди во голем обем со строги стандарди за квалитет.
- Лажна класа за тестирање и калибрацијаОвозможува оптимизација на процесите, тестирање на опремата и прототипирање без употреба на скапи производствени плочки.
Генерално, 4H/6H-P 6-инчните SiC плочки со нулта MPD класа, производствена класа и фиктивна класа нудат значајни предности за развој на високо-перформансни електронски уреди. Овие плочки се особено корисни во апликации кои бараат работа на висока температура, висока густина на моќност и ефикасна конверзија на моќност. Нултата MPD класа обезбедува минимални дефекти за сигурни и стабилни перформанси на уредот, додека производствените плочки поддржуваат производство на големи размери со строги контроли на квалитетот. Фиктивните плочки обезбедуваат економично решение за оптимизација на процесите и калибрација на опремата, што ги прави неопходни за производство на полупроводници со висока прецизност.
Детален дијаграм
