4H/6H-P 6-инчен SiC нафора Нулта MPD оценка на производство Степен на лажна оценка

Краток опис:

6-инчниот SiC обланда од типот 4H/6H-P е полупроводнички материјал кој се користи во производството на електронски уреди, познат по својата одлична топлинска спроводливост, високиот пробивен напон и отпорноста на високи температури и корозија. Оценката за производство и нула MPD (Микроцевководни дефекти) ја обезбедуваат неговата доверливост и стабилност во енергетската електроника со високи перформанси. Наполитанките за производство се користат за производство на уреди во големи размери со строга контрола на квалитетот, додека наполитанките од типот на лажна класа првенствено се користат за дебагирање на процеси и тестирање на опремата. Извонредните својства на SiC го прават широко применет во електронски уреди со висока температура, висок напон и висока фреквенција, како што се уреди за напојување и RF уреди.


Детали за производот

Ознаки на производи

4H/6H-P Тип SiC композитни супстрати Вообичаена табела со параметри

6 Подлога од силикон карбид (SiC) со дијаметар од инчи Спецификација

Одделение Нулта MPD ПроизводствоОдделение (З Одделение) Стандардно производствоОценка (П Одделение) Лажна оценка (D Одделение)
Дијаметар 145,5 mm~150,0 mm
Дебелина 350 μm ± 25 μm
Ориентација на нафора -Offоска: 2,0°-4,0° кон [1120] ± 0,5° за 4H/6H-P, на оската:〈111〉± 0,5° за 3C-N
Густина на микроцевки 0 cm-2
Отпорност p-тип 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-тип 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Примарна рамна ориентација 4H/6H-P -{1010} ± 5,0°
3C-N -{110} ± 5,0°
Примарна рамна должина 32,5 mm ± 2,0 mm
Секундарна рамна должина 18,0 mm ± 2,0 mm
Секундарна рамна ориентација Силициум со лицето нагоре: 90° CW. од Prime flat ± 5,0°
Исклучување на рабовите 3 мм 6 мм
LTV / TTV / Bow / Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Грубоста Полски Ra≤1 nm
CMP Ra≤0,2 nm Ra≤0,5 nm
Пукнатини на рабовите со светлина со висок интензитет Никој Кумулативна должина ≤ 10 mm, единечна должина≤2 mm
Хексадетични плочи со светлина со висок интензитет Кумулативна површина ≤0,05% Кумулативна површина ≤0,1%
Политипски области со светлина со висок интензитет Никој Кумулативна површина≤3%
Визуелни вклучувања на јаглерод Кумулативна површина ≤0,05% Кумулативна површина ≤3%
Силиконски површински гребнатини со светлина со висок интензитет Никој Кумулативна должина≤1×дијаметар на нафора
Работни чипови со висок интензитет на светлина Никој не е дозволен ≥0,2 mm ширина и длабочина Дозволени 5, по ≤1 мм
Површинска контаминација со силикон со висок интензитет Никој
Пакување Касета со повеќе нафора или контејнер за единечни нафора

Забелешки:

※ Границите за дефекти важат за целата површина на обландата, освен за областа за исклучување на рабовите. # Гребнатините треба да се проверат на Si лице o

Нафора од 6 инчи SiC од типот 4H/6H-P со нула MPD оценка и производствен или лажен степен е широко користен во напредни електронски апликации. Неговата одлична топлинска спроводливост, високиот пробивен напон и отпорноста на тешки средини го прават идеален за електроника за напојување, како што се високонапонски прекинувачи и инвертери. Оценката Zero MPD обезбедува минимални дефекти, критични за уредите со висока доверливост. Наполитанките за производство се користат во големото производство на уреди за напојување и RF апликации, каде што перформансите и прецизноста се клучни. Од друга страна, наполитанките од лажна класа се користат за калибрација на процесот, тестирање на опрема и прототипирање, овозможувајќи доследна контрола на квалитетот во средини за производство на полупроводници.

Предностите на композитните супстрати на SiC од N-тип вклучуваат

  • Висока топлинска спроводливост: Нафората 4H/6H-P SiC ефикасно ја расфрла топлината, што го прави погоден за електронски апликации со висока температура и висока моќност.
  • Висок пробивен напон: Неговата способност да се справува со високи напони без дефект го прави идеален за енергетска електроника и апликации за префрлување со висок напон.
  • Нулта MPD (Дефект на микро цевка).: Минималната густина на дефектот обезбедува поголема доверливост и перформанси, критични за електронски уреди со барања.
  • Производство-Одделение за масовно производство: Погоден за големо производство на полупроводнички уреди со високи перформанси со строги стандарди за квалитет.
  • Кукла-Оценка за тестирање и калибрација: Овозможува оптимизација на процесот, тестирање на опремата и прототип без користење нафора за производство со висока цена.

Севкупно, 6-инчните SiC обланди 4H/6H-P со нула MPD степен, производствен степен и лажна оценка нудат значителни предности за развој на електронски уреди со високи перформанси. Овие наполитанки се особено корисни во апликации кои бараат работа со висока температура, висока густина на моќност и ефикасна конверзија на енергија. Оценката Zero MPD обезбедува минимални дефекти за доверливи и стабилни перформанси на уредот, додека наполитанките за производство поддржуваат производство од големи размери со строги контроли на квалитетот. Наполитанките со лажна класа обезбедуваат исплатливо решение за оптимизација на процесот и калибрација на опремата, што ги прави неопходни за високопрецизно производство на полупроводници.

Детален дијаграм

б1
б2

  • Претходно:
  • Следно:

  • Напишете ја вашата порака овде и испратете ни ја